公开(公告)号：CN119725167A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411865179.7

申请日：2024-12-17

Applicant: 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司

Inventor： 杜志杰 ,  郭东

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种散热装置、加热盘及薄膜沉积设备，该散热装置用于对加热盘进行散热，散热装置包括：导热件、至少一导热管和冷却组件，所述导热件安装于所述加热盘的盘柄，所述导热管的一端连接所述导热件，所述导热管的另一端连接所述冷却组件，所述冷却组件用于冷却所述导热管；其中，所述导热管沿所述加热盘的盘柄的径向延伸以使所述冷却组件远离所述加热盘。通过本发明，通过导热管将热量传递至远离加热盘的区域再进行散热，避免在加热盘盘柄内部射频加热棒附近的狭窄空间内进行散热，将散热位置转移到附近的开阔区域，提高了散热效果，提高加热盘的可靠性。

公开(公告)号：CN119789256A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411908524.0

申请日：2024-12-23

Applicant: 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司

Inventor： 王佳航 ,  张赛谦 ,  郭东 ,  杜志杰 ,  冯家玉

IPC: H05B6/46 ,  H05B6/62 ,  F25D1/02 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种射频加热棒及半导体生产设备，射频加热棒包括主体，主体包括加热部和冷却部，加热部的两端分别与加热盘和冷却部连接，冷却部的内部设有冷水通道及由冷却部外表面贯通至冷水通道的进水口和出水口，冷水通道沿冷却部的高度方向延伸设置；其中，冷水由进水口进入冷水通道并沿冷水通道的延伸方向流动至出水口排出。本申请的射频加热棒包括加热部和冷却部，加热部连接加热盘和冷却部，通过进水口朝冷水通道通入冷水并使冷水在冷却通道内流动直至从出水口排出，使冷水沿冷水通道对冷却部进行吸热降温，以避免射频加热棒的温度过高，导致射频加热棒出现烧蚀的现象，影响设备运行；同时冷却部与加热盘间隔设置，避免影响加热盘的加热效果。