公开(公告)号：CN104471699B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201380037331.6

申请日：2013-06-25

Applicant: 斯克林集团公司

Inventor： 山本真弘

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67772 ,  B25J11/0095 ,  G05B2219/40012 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/77

Abstract: 提供一种抑制基板处理效率下降，并且降低因开放密封容器而导致容置在内部的基板受到的破坏的技术。基板处理装置(1)具有：密封容器(11)，其具有在内部容置基板(9)的空间，并形成有用于搬入或者搬出基板(9)的开口(121)；开闭机构(17)，开闭开口(121)；基板处理部(30)，对基板(9)进行清洗处理；以及，第一搬运机械手(IR1)，将基板(9)搬入搬出密封容器(11)。另外，基板处理装置(1)具有进度表创建部(401)，该进度表创建部(401)根据基板处理部(30)处理基板(9)的处理时间，创建规定了开闭机构(17)开闭开口(121)的时机以及基板搬运部(20)向密封容器(11)搬入基板(9)或者从密封容器(11)搬出基板(9)的时机的进度表数据(441)。

公开(公告)号：CN104471699A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201380037331.6

申请日：2013-06-25

Applicant: 斯克林集团公司

Inventor： 山本真弘

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67772 ,  B25J11/0095 ,  G05B2219/40012 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/77

Abstract: 提供一种抑制基板处理效率下降，并且降低因开放密封容器而导致容置在内部的基板受到的破坏的技术。基板处理装置(1)具有：密封容器(11)，其具有在内部容置基板(9)的空间，并形成有用于搬入或者搬出基板(9)的开口(121)；开闭机构(17)，开闭开口(121)；基板处理部(30)，对基板(9)进行清洗处理；以及，第一搬运机械手(IR1)，将基板(9)搬入搬出密封容器(11)。另外，基板处理装置(1)具有进度表创建部(401)，该进度表创建部(401)根据基板处理部(30)处理基板(9)的处理时间，创建规定了开闭机构(17)开闭开口(121)的时机以及基板搬运部(20)向密封容器(11)搬入基板(9)或者从密封容器(11)搬出基板(9)的时机的进度表数据(441)。