公开(公告)号：CN115280673A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202180021031.3

申请日：2021-03-12

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 中村大辅 ,  石川岳人 ,  圆冈岳 ,  待永广宣

IPC: H03H9/17 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/319

Abstract: 本申请提供一种压电层的厚度即使在亚微米的区域，也具有充分的结晶取向性的层叠体以及使用了该层叠体的压电器件。层叠体依次层叠有第1纤维锌矿型薄膜、第1六方晶金属层、第1电极层、第2六方晶金属层以及第2纤维锌矿型薄膜，上述第1电极层由与上述第2纤维锌矿型薄膜相比声阻抗高的金属材料来形成。

公开(公告)号：CN117016059A

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN202280022562.9

申请日：2022-03-28

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 圆冈岳 ,  中村大辅 ,  石川岳人 ,  待永广宣

IPC: H10N30/853 ,  H10N30/074

Abstract: 本发明涉及的压电体膜具备具有纤维锌矿型的晶体结构的压电材料作为主成分，所述压电体膜具有包含Kr的添加元素，上述压电材料包含选自由Zn、Al、Ga、Cd和Si所组成的组中的一种成分作为阳性元素，上述压电材料中的Kr元素的含量相对于含有元素的含量的比例为0.01atm％～0.05atm％。