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公开(公告)号：CN100450715C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200410003989.8
申请日：2004-02-12
Applicant: 日产自动车株式会社
CPC classification number: B24B19/12 , B24B5/42 , B24B21/00 , B24B53/007
Abstract: 本发明公开一种研磨设备和研磨方法，膜供给器(FF1)供给膜(1)，第一驱动装置(20)使工件(W)转动，第二驱动装置(30)使工件(W)相对于膜(1)运动，底板组操控器(40)操控底板组(2)以将膜(1)压在工件(W)上，以及退化延缓器(C)能够使膜(1)的研磨性的退化延缓。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1277654C
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200410003985.X
申请日：2004-02-12
Applicant: 日产自动车株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于研磨具有预加工表面的工件的研磨设备，所述设备包括：研磨膜，所述研磨膜包括具有带磨粒的表面的薄衬底；设置在研磨膜后表面侧处的底板；底板驱动单元，所述底板驱动单元用于朝向工件驱动底板以便于将研磨膜的有磨粒的表面压向工件的预加工表面；转动驱动单元，所述转动驱动单元用于以可转动的方式驱动工件；检测单元，所述检测单元用于沿转动方向检测转动工件的位置；以及控制单元，所述控制单元用于控制底板驱动单元的挤压力，以便于在加工过程中沿转动方向根据工件的位置驱动底板。
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公开(公告)号：CN1520960A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN200410003985.X
申请日：2004-02-12
Applicant: 日产自动车株式会社
IPC: B24B37/02
Abstract: 本发明涉及一种用于研磨具有预加工表面的工件的研磨设备，所述设备包括：研磨膜，所述研磨膜包括具有带磨粒的表面的薄衬底；设置在研磨膜后表面侧处的底板；底板驱动单元，所述底板驱动单元用于朝向工件驱动底板以便于将研磨膜的有磨粒的表面压向工件的预加工表面；转动驱动单元，所述转动驱动单元用于以可转动的方式驱动工件；检测单元，所述检测单元用于沿转动方向检测转动工件的位置；以及控制单元，所述控制单元用于控制底板驱动单元的挤压力，以便于在加工过程中沿转动方向根据工件的位置驱动底板。
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公开(公告)号：CN1520961A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN200410003989.8
申请日：2004-02-12
Applicant: 日产自动车株式会社
IPC: B24B37/02
CPC classification number: B24B19/12 , B24B5/42 , B24B21/00 , B24B53/007
Abstract: 本发明公开一种研磨设备和研磨方法，膜供给器(FF1)供给膜(1)，第一驱动装置(20)使工件(W)转动，第二驱动装置(30)使工件(W)相对于膜(1)运动，底板组操控器(40)操控底板组(2)以将膜(1)压在工件(W)上，以及退化延缓器(C)能够使膜(1)的研磨性的退化延缓。
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公开(公告)号：CN100551617C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200410003990.0
申请日：2004-02-12
Applicant: 日产自动车株式会社
Abstract: 本发明公开了一种对工件进行表面精加工的装置及方法，包括：工件支承机构，支承将要进行表面精加工的具有目标成形外围以及给定宽度的工件；以及夹具，其使表面精加工工具与工件的目标成形外围邻接。压力施加机构操作性地经由夹具向表面精加工工具施加压力，以使该表面精加工工具与工件的目标成形外围保持压力接触，且该压力表现出依据工件轴向的分布型式。驱动机构转动工件，以使表面精加工工具将该工件的目标成形外围表面精加工为一种给定几何轮廓，取决于给定的压力分布型式，该给定几何轮廓沿着工件的轴向变化。
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公开(公告)号：CN1520962A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN200410003990.0
申请日：2004-02-12
Applicant: 日产自动车株式会社
IPC: B24B37/02
Abstract: 本发明公开了一种对工件进行表面精加工的装置及方法，包括：工件支承机构，支承将要进行表面精加工的具有目标成形外围以及给定宽度的工件；以及夹具，其使表面精加工工具与工件的目标成形外围邻接。压力施加机构操作性地经由夹具向表面精加工工具施加压力，以使该表面精加工工具与工件的目标成形外围保持压力接触，且该压力表现出依据工件轴向的分布型式。驱动机构转动工件，以使表面精加工工具将该工件的目标成形外围表面精加工为一种给定几何轮廓，取决于给定的压力分布型式，该给定几何轮廓沿着工件的轴向变化。
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