成膜方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113631755B

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN201980094711.0

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 一种成膜方法,在该成膜方法中,一边使具有不相互连续的多个被成膜部(16c)的工件(3)和冷喷装置(2)的喷嘴(23d)沿着由相对于所述多个被成膜部的轨迹(T)和连结该相对于多个被成膜部的轨迹(T)的连接轨迹(CT)构成的连续的移动轨迹(MT)相对地移动,一边从所述喷嘴连续地喷射原料粉末,利用冷喷法向所述多个被成膜部分别喷射原料粉末而形成覆膜,其中,将所述移动轨迹中的所述工件与所述喷嘴之间的相对速度变低的折返点(TP1)设定于所述连接轨迹之上。

    成膜方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113631755A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN201980094711.0

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 一种成膜方法,在该成膜方法中,一边使具有不相互连续的多个被成膜部(16c)的工件(3)和冷喷装置(2)的喷嘴(23d)沿着由相对于所述多个被成膜部的轨迹(T)和连结该相对于多个被成膜部的轨迹(T)的连接轨迹(CT)构成的连续的移动轨迹(MT)相对地移动,一边从所述喷嘴连续地喷射原料粉末,利用冷喷法向所述多个被成膜部分别喷射原料粉末而形成覆膜,其中,将所述移动轨迹中的所述工件与所述喷嘴之间的相对速度变低的折返点(TP1)设定于所述连接轨迹之上。

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