公开(公告)号：CN1386305A

公开(公告)日：2002-12-18

申请号：CN01802040.2

申请日：2001-07-16

Applicant: 日本板硝子株式会社

Inventor： 駒场信幸 ,  田上高志 ,  有马靖智 ,  楠田幸久

IPC: H01L31/105

CPC classification number: H01L27/14643 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/14636 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/00014

Abstract: 提供一种受光元件阵列,可以防止串扰引起的受光元件的特性劣化。在n－InP基板上叠层n－InP层、i－InGaAs层、n－InP层,在n－InP层内扩散Zn而形成p型扩散区,作成pin光电二极管。在该结构上,保护绝缘膜成膜到成为无反射条件那样的膜厚。在该保护绝缘膜上,以覆盖受光部之间的方式设置遮光膜。