受光器件阵列和受光器件阵列芯片

    公开(公告)号:CN1327617A

    公开(公告)日:2001-12-19

    申请号:CN00802271.2

    申请日:2000-10-11

    CPC classification number: H01L27/14625 H01L27/1446

    Abstract: 提供可以减小受光器件阵列的尺寸和节距,并可以减小对相邻的受光器件的串扰的受光器件阵列。它是一种对半导体层层叠构成的受光器件进行隔离刻蚀的台面式构造的受光器件阵列,在n型InP衬底上,叠层n型InP层、i型InGaAs层(光吸收层)和p型InP层(窗口层),对InGaAs层和p型InP层进行刻蚀使器件间进行隔离,覆盖绝缘膜,在各个受光器件的p型InP层上形成p型欧姆电极,在n型InP衬底的背面上形成共通的n型欧姆电极。

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