被覆膜及其制造方法以及PVD装置

    公开(公告)号:CN106795619A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201480082002.8

    申请日:2014-09-17

    Abstract: 本发明提供一种不仅充分地改善低摩擦性与耐磨损性的并存而且也改善耐碎片性(耐缺损性)或耐剥离性的被覆膜及其制造方法以及PVD装置。一种被覆膜,被覆在基材的表面上,并且形成有在通过明视场TEM图像对截面进行观察时在相对于基材垂直的方向上相连呈柱状的硬质碳层,硬质碳层是使用PVD法而形成,在利用拉曼分光法对硬质碳层进行测定时,拉曼分光光谱的D频带与G频带的波峰的面积强度比ID/IG比为1~6。本发明的被覆膜的制造方法及装置使用电弧式PVD法,以将基材温度维持于250℃~400℃的方式控制偏向电压、电弧电流、加热器温度和/或炉内压力,并且一面使基材自转和/或公转一面在基材的表面上被覆硬质碳膜。

    被覆膜及其制造方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107075659B

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201480082001.3

    申请日:2014-09-17

    Abstract: 本发明提供一种不仅充分地改善低摩擦性与耐磨损性的并存且改善耐碎片性或耐剥离性的被覆膜及其制造方法以及PVD装置。一种被覆膜,被覆在基材的表面上,且具有在通过明视场TEM图像对截面进行观察时相对地以黑白显示的硬质碳,白色的硬质碳在厚度方向上相连成网格状、黑色的硬质碳分散在网格的间隙中的网格状硬质碳层是使用PVD法而形成,在利用拉曼分光法对网格状硬质碳层进行测定时,拉曼分光光谱的D频带与G频带的波峰的面积强度比ID/IG比为1~6。本发明使用电弧式PVD法,以将基材温度维持于超过200℃且为300℃以下的方式控制偏向电压、电弧电流、加热器温度等,并且一面使基材自转和/或公转一面在基材的表面上被覆硬质碳膜。

    滑动构件及包覆膜
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110770362A

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201880040572.9

    申请日:2018-06-15

    Abstract: 本发明的课题是提供具有示出一定且稳定的抗削性和耐磨损性、并且耐剥离性(密合性)优异的包覆膜的滑动构件、及该包覆膜。其解决方法是滑动构件(10),其在基材(11)的滑动面(16)具有由硬质碳层形成的包覆膜(1),上述包覆膜(1)如下所述地构成:通过明视野TEM图像观察包覆膜(1)的剖面时,包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层(B)和相对地由白色表示的白色硬质碳层(W)的重复单元在厚度方向上层叠,且具有1μm~50μm的范围内的厚度,包覆膜(1)具有设置于基材侧的倾斜区域(2)和设置于滑动构件(10)的表面侧的均质区域(3),在上述倾斜区域(2),重复单元中的白色硬质碳层(W)的厚度在厚度方向上逐渐变大,在上述均质区域(3),重复单元中的白色硬质碳层(W)的厚度在厚度方向上相同或大致相同,从而解决了上述问题。

    被覆膜及其制造方法以及PVD装置

    公开(公告)号:CN107075659A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201480082001.3

    申请日:2014-09-17

    Abstract: 本发明提供一种不仅充分地改善低摩擦性与耐磨损性的并存且改善耐碎片性或耐剥离性的被覆膜及其制造方法以及PVD装置。一种被覆膜,被覆在基材的表面上,且具有在通过明视场TEM图像对截面进行观察时相对地以黑白显示的硬质碳,白色的硬质碳在厚度方向上相连成网格状、黑色的硬质碳分散在网格的间隙中的网格状硬质碳层是使用PVD法而形成,在利用拉曼分光法对网格状硬质碳层进行测定时,拉曼分光光谱的D频带与G频带的波峰的面积强度比ID/IG比为1~6。本发明的被覆膜的制造方法及装置使用电弧式PVD法,以将基材温度维持于超过200℃且为300℃以下的方式控制偏向电压、电弧电流、加热器温度等,并且一面使基材自转和/或公转一面在基材的表面上被覆硬质碳膜。

    油环、油环的制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119301352A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202380044106.9

    申请日:2023-08-02

    Abstract: 一种油环,其是多片式的油环,该油环设置于内燃机的活塞,并具备具有轨道的环主体和螺旋扩张器。在环主体的轨道形成有通过物理蒸镀处理而形成的皮膜。由皮膜形成的轨道的外周面具有:实际接触面,其形成为沿周向延伸的带形状,并与内燃机的气缸的内壁面抵接且滑动;以及倾斜面,其从实际接触面实际接触面的轴向上的边缘起向轴向外侧连续,且该倾斜面与内壁面之间的距离随着朝向轴向外侧而变大。该倾斜面由皮膜的表面沿周向被研磨或磨削而成的面构成。由此,降低油环的滑动阻力,实现进一步的燃油效率提高。

    被覆膜与其制造方法、PVD装置及活塞环

    公开(公告)号:CN108368602B

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201680073541.4

    申请日:2016-12-16

    Abstract: 提供一种技术,其为PVD法,却可将耐久性优异的厚膜的硬质碳膜成膜,并且可使经成膜的硬质碳膜的耐碎片性与耐磨损性并存,并且可改善低摩擦性与耐剥离性。一种被覆膜,其为被覆于基材的表面上的被覆膜,且在利用明视场TEM图像观察截面时,在厚度方向上交替层叠有相对地以白显示的白色的硬质碳层、与以黑显示的黑色的硬质碳层且具有超过1μm且50μm以下的总膜厚,并且白色的硬质碳层具有在厚度方向上呈扇状成长的区域。一种被覆膜的制造方法,其为使用PVD法在基材的表面上将所述被覆膜成膜的制造方法。一种PVD装置,其为所述的被覆膜的制造方法中使用的电弧式物理气相沉积装置。一种活塞环,其至少在外周滑动面上具有所述的被覆膜。

    滑动构件及包覆膜
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110770362B

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN201880040572.9

    申请日:2018-06-15

    Abstract: 本发明的课题是提供具有示出一定且稳定的抗削性和耐磨损性、并且耐剥离性(密合性)优异的包覆膜的滑动构件、及该包覆膜。其解决方法是滑动构件(10),其在基材(11)的滑动面(16)具有由硬质碳层形成的包覆膜(1),上述包覆膜(1)如下所述地构成:通过明视野TEM图像观察包覆膜(1)的剖面时,包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层(B)和相对地由白色表示的白色硬质碳层(W)的重复单元在厚度方向上层叠,且具有1μm~50μm的范围内的厚度,包覆膜(1)具有设置于基材侧的倾斜区域(2)和设置于滑动构件(10)的表面侧的均质区域(3),在上述倾斜区域(2),重复单元中的白色硬质碳层(W)的厚度在厚度方向上逐渐变大,在上述均质区域(3),重复单元中的白色硬质碳层(W)的厚度在厚度方向上相同或大致相同,从而解决了上述问题。

    被覆膜及其制造方法以及PVD装置

    公开(公告)号:CN106795619B

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201480082002.8

    申请日:2014-09-17

    Abstract: 本发明提供一种不仅充分地改善低摩擦性与耐磨损性的并存而且也改善耐碎片性(耐缺损性)或耐剥离性的被覆膜及其制造方法以及PVD装置。一种被覆膜,被覆在基材的表面上,并且形成有在通过明视场TEM图像对截面进行观察时在相对于基材垂直的方向上相连呈柱状的硬质碳层,硬质碳层是使用PVD法而形成,在利用拉曼分光法对硬质碳层进行测定时,拉曼分光光谱的D频带与G频带的波峰的面积强度比ID/IG比为1~6。本发明的被覆膜的制造方法及装置使用电弧式PVD法,以将基材温度维持于250℃~400℃的方式控制偏向电压、电弧电流、加热器温度和/或炉内压力,并且一面使基材自转和/或公转一面在基材的表面上被覆硬质碳膜。

    被覆膜与其制造方法及PVD装置

    公开(公告)号:CN108368602A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201680073541.4

    申请日:2016-12-16

    Abstract: 提供一种技术,其为PVD法,却可将耐久性优异的厚膜的硬质碳膜成膜,并且可使经成膜的硬质碳膜的耐碎片性与耐磨损性并存,并且可改善低摩擦性与耐剥离性。一种被覆膜,其为被覆于基材的表面上的被覆膜,且在利用明视场TEM图像观察截面时,在厚度方向上交替层叠有相对地以白显示的白色的硬质碳层、与以黑显示的黑色的硬质碳层且具有超过1μm且50μm以下的总膜厚,并且白色的硬质单素层具有在厚度方向上呈扇状成长的区域。一种被覆膜的制造方法,其为使用PVD法在基材的表面上将被覆膜成膜的被覆膜的制造方法,且以基材在超过50℃且200℃以下的低温区域与超过200℃且300℃以下的高温区域之间交替重复进行升温与降温的方式控制对基材的成膜条件,并且使基材自转和/或公转。

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