公开(公告)号：CN103988291A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201380004232.8

申请日：2013-01-11

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 田川广行 ,  塚田将夫 ,  佐伯彰久 ,  三成泰纪

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06

CPC classification number: B65G17/323 ,  B65G49/066 ,  C03B35/20 ,  C03B35/205 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种玻璃基板的搬运装置及搬运方法。玻璃基板的搬运装置(1)具备通过把持纵向姿态的玻璃基板(G)中的上缘部(U)来悬挂支承玻璃基板(G)的多个把持机构(10)、(11)，并将由把持机构(10)、(11)悬挂支承的玻璃基板(G)在沿着上缘部(U)的搬运方向T上搬运，其中，将多个把持机构(10)、(11)中的、至少一个把持机构设为位置及/或姿态在水平面上可变的可动把持机构(10)。