碳纳米管及其制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110002430A

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201910141533.4

    申请日:2013-06-20

    Abstract: 本发明涉及一种能够使直径小、结晶性良好的碳纳米管高密度地生长成长条状的碳纳米管的制造方法。并且,本发明的碳纳米管的制造方法具有:将催化剂原料加热还原从而形成催化剂粒子的催化剂粒子形成工序、和使原料气体在处于加热状态的催化剂粒子上流通从而合成碳纳米管的碳纳米管合成工序,在催化剂粒子形成工序及碳纳米管合成工序中的至少一个工序中,使不具有不饱和键的含碳化合物气体在催化剂原料和/或催化剂粒子上流通。

    热交换式反应管
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104619408A

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201380045004.5

    申请日:2013-08-28

    Abstract: 本发明提供一种均热性高、热损失少的热交换型反应管。具有:第一管部(2),其形成流入原料气体并使原料气体下降的第一流路(4);第二管部(3),其形成与第一流路(4)连通并使原料气体上升的第二流路(5),填充有粒子状的催化剂担载支承体;和加热装置,其将第一管部(2)及第二管部(3)加热。此外,第一流路(4)与第二流路(5)隔着隔壁邻接,在第二流路(5)中,设有保持催化剂担载支承体并使原料气体通过的分散板(8)。

    滚筒溅射装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104603322A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201380044728.8

    申请日:2013-08-21

    Abstract: 本发明提供一种滚筒溅射装置,其能够在粒状体整体上均匀地附着靶原子。滚筒溅射装置具备收容粒状体的真空容器(2)、配置在真空容器(2)内且至少一侧端面(10c)开口的筒状的滚筒(10)、以及配置在滚筒(10)内的溅射靶(16),通过支承臂(11)、旋转用驱动电动机(12)、摆动用驱动电动机(13)、第一齿轮构件(14)以及第二齿轮构件(15)使滚筒绕滚筒(10)的轴线旋转,并且以使滚筒(10)的轴线方向上的一侧端部(10e)与另一侧端部(10f)在上下相对调换的方式使滚筒(10)摆动。

    滚筒溅射装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104603322B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201380044728.8

    申请日:2013-08-21

    Abstract: 本发明提供一种滚筒溅射装置,其能够在粒状体整体上均匀地附着靶原子。滚筒溅射装置具备收容粒状体的真空容器(2)、配置在真空容器(2)内且至少一侧端面(10c)开口的筒状的滚筒(10)、以及配置在滚筒(10)内的溅射靶(16),通过支承臂(11)、旋转用驱动电动机(12)、摆动用驱动电动机(13)、第一齿轮构件(14)以及第二齿轮构件(15)使滚筒绕滚筒(10)的轴线旋转,并且以使滚筒(10)的轴线方向上的一侧端部(10e)与另一侧端部(10f)在上下相对调换的方式使滚筒(10)摆动。

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