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公开(公告)号:CN101432094A
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200780015053.9
申请日:2007-04-18
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: B23K26/06 , B23K26/08 , H05K3/00 , H05K3/08 , B23K101/42
CPC classification number: B23K26/0604 , B23K26/0006 , B23K26/0608 , B23K26/0676 , B23K2101/42 , B23K2103/00 , B23K2103/56 , H05K3/0026 , H05K3/027 , H05K2201/0338 , H05K2203/108
Abstract: 本发明提供即使强度和波长不同的激光束以多个级辐射也能在电子电路板的图案形成时高效加工的方法和装置。激光加工装置具有:第一和第二激光振荡器(2a、2b),发射波长或者强度至少一个互不相同的激光束(3a、3b);工作台(5),移动要加工的工件(1);光学系统(4a、4b),引导激光束(3a、3b)至工件(1)上的预定位置。光学系统(4a、4b),可以由调整设备(6)根据激光束(3a、3b)和工件(1)的相对移动方向而移动,允许激光束(3a、3b)辐射至工件(1)的预定位置,使得工件(1)可以被激光束(3a、3b)加工。这样,可以不限制激光束和工件的相对移动方向且没有非必要的移动地高效进行激光加工。
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公开(公告)号:CN101432094B
公开(公告)日:2012-10-31
申请号:CN200780015053.9
申请日:2007-04-18
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: B23K26/06 , B23K26/08 , H05K3/00 , H05K3/08 , B23K101/42
CPC classification number: B23K26/0604 , B23K26/0006 , B23K26/0608 , B23K26/0676 , B23K2101/42 , B23K2103/00 , B23K2103/56 , H05K3/0026 , H05K3/027 , H05K2201/0338 , H05K2203/108
Abstract: 本发明提供即使强度和波长不同的激光束以多个级辐射也能在电子电路板的图案形成时高效加工的方法和装置。激光加工装置具有:第一和第二激光振荡器(2a、2b),发射波长或者强度至少一个互不相同的激光束(3a、3b);工作台(5),移动要加工的工件(1);光学系统(4a、4b),引导激光束(3a、3b)至工件(1)上的预定位置。光学系统(4a、4b),可以由调整设备(6)根据激光束(3a、3b)和工件(1)的相对移动方向而移动,允许激光束(3a、3b)辐射至工件(1)的预定位置,使得工件(1)可以被激光束(3a、3b)加工。这样,可以不限制激光束和工件的相对移动方向且没有非必要的移动地高效进行激光加工。
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公开(公告)号:CN101522357A
公开(公告)日:2009-09-02
申请号:CN200780037332.5
申请日:2007-10-11
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: B23K26/073 , B23K26/00 , B23K26/06
CPC classification number: B23K26/073 , B23K26/032 , B23K26/046 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0665
Abstract: 用光滑的曲面来使激光束快速变化成期望的光束形状。一种激光加工装置,使从激光振荡器射出的激光束(2)通过聚焦透镜(3)照射到被加工物(1)的表面上来进行规定加工,包括:使激光束(2)的例如纵向和横向的光束形状变化的微小变形透镜(4、5)、以及为了使激光束(2)的光束形状变化成规定形状而对所述微小变形透镜(4、5)的变形量进行控制的透镜变形量控制装置。所述微小变形透镜(4、5)是利用设置在透镜的外周部上的多个致动器(4b、5b)来使所述微小变形透镜(4、5)变形成规定形状的构造。由于可利用与通常的透镜一样光滑的曲面使激光束快速变化成期望的光束形状,因此即使在被加工物的形状变化时,也能一边维持期望的光束形状一边高精度地进行加工。
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