激光加工装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101522357A

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:CN200780037332.5

    申请日:2007-10-11

    Abstract: 用光滑的曲面来使激光束快速变化成期望的光束形状。一种激光加工装置,使从激光振荡器射出的激光束(2)通过聚焦透镜(3)照射到被加工物(1)的表面上来进行规定加工,包括:使激光束(2)的例如纵向和横向的光束形状变化的微小变形透镜(4、5)、以及为了使激光束(2)的光束形状变化成规定形状而对所述微小变形透镜(4、5)的变形量进行控制的透镜变形量控制装置。所述微小变形透镜(4、5)是利用设置在透镜的外周部上的多个致动器(4b、5b)来使所述微小变形透镜(4、5)变形成规定形状的构造。由于可利用与通常的透镜一样光滑的曲面使激光束快速变化成期望的光束形状,因此即使在被加工物的形状变化时,也能一边维持期望的光束形状一边高精度地进行加工。

Patent Agency Ranking