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公开(公告)号：CN102791452A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180012708.3
申请日：2011-03-09
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: B29C33/38 , B29C33/58 , H01L21/027
CPC classification number: B29C33/58 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 提供与基材的密合性优异、与转印材料树脂之间的脱模性优异、且树脂模具本身的耐久性优异、能经受对转印材料树脂的重复转印的树脂模具。本发明的树脂模具是表面具有微细凹凸结构的树脂模具，其特征在于，树脂模具表面部的氟元素浓度（Es）在构成树脂模具的树脂中的平均氟元素浓度（Eb）以上。
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