微细凹凸结构转印用铸模

    公开(公告)号:CN103650106B

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201280030510.2

    申请日:2012-06-18

    Inventor: 古池润

    CPC classification number: G03F7/0002 B29C33/424 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明提供一种具备高脱模性,转印材料的涂布性良好的微细凹凸结构转印用铸模。本发明的微细凹凸结构转印用铸模(110)具有基材、基材的一个主面上的一部分上由向被处理体转印的微细凹凸结构所形成的图案部(111)、一主面内的转印区以外的没有形成微细凹凸结构的非图案部(112)、图案部(111)与非图案部之间的其至少一部分与图案部(111)相邻设置的阻碍区(114)。图案部(111)及阻碍区(114)含有多个凹部。此外,图案部(111)的平均粗糙度Rf1、与阻碍区(114)的平均粗糙度Rf2满足Rf1>Rf2的关系,同时,图案部(111)区域的平均开口率Ar1与阻碍区(114)的平均开口率Ar2之间满足Ar1>Ar2的关系。

    树脂模具
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102791452A

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:CN201180012708.3

    申请日:2011-03-09

    CPC classification number: B29C33/58 B82Y10/00 B82Y40/00 G03F7/0002

    Abstract: 提供与基材的密合性优异、与转印材料树脂之间的脱模性优异、且树脂模具本身的耐久性优异、能经受对转印材料树脂的重复转印的树脂模具。本发明的树脂模具是表面具有微细凹凸结构的树脂模具,其特征在于,树脂模具表面部的氟元素浓度(Es)在构成树脂模具的树脂中的平均氟元素浓度(Eb)以上。

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