公开(公告)号：CN108140605A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680060109.1

申请日：2016-10-12

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 渡边康章 ,  中村浩二 ,  近藤翼 ,  伊藤泰则 ,  堀雄贵 ,  宇津木洋

IPC: H01L21/683 ,  B65H41/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: B32B43/006 ,  B32B15/04 ,  B32B17/06 ,  B32B27/08 ,  B32B2315/08 ,  B32B2457/202 ,  B32B2457/204 ,  B32B2457/206 ,  B65H41/00 ,  B65H2301/51122 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/683

Abstract: 在剥离开始形态下把持可动部件，将剥离部件的肋的另一端部侧向挠性板的另一端部侧挤压。如此，以被支承部件支承的挠性板的另一端部侧为支点挠性板沿着剥离行进方向进行挠曲变形。然后，与该剥离动作联动，吸附保持于挠性板的透气性导电片的加强板也与挠性板一同进行挠曲变形，由此从基板2沿着剥离行进方向依次剥离。