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公开(公告)号：CN103429383B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280013296.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B7/24 , B24B37/10 , G02F1/1333
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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公开(公告)号：CN103429383A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201280013296.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B7/24 , B24B37/10 , G02F1/1333
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105798767A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610211050.3
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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公开(公告)号：CN102672599A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210068484.4
申请日：2012-03-15
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨装置，具有：板状体贴附部，其贴附板状体；板状体保持部，其保持所述板状体贴附部；及研磨件，其与所述板状体贴附部对向配置，对由所述板状体贴附部贴附的所述板状体的研磨面进行研磨，其中，所述板状体贴附部在所述研磨件的对向面具有平面部分，在该平面部分具备板状体的贴附部，所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
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公开(公告)号：CN101500754A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780030091.1
申请日：2007-06-14
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明的目的是从研磨剂浆料废液中有效地除去因研磨而混入的小粒径异物和大粒径异物，从而回收研磨剂。本发明利用一种回收装置从研磨剂浆料废液中回收研磨剂，该装置包括高压喷射流分散机、超声波过滤机和旋风分离器；所述高压喷射流分散机使研磨剂浆料废液在分散容器内以高压喷射流的形式相互碰撞；所述超声波过滤机在对用高压喷射流分散机分散而得的分散液及/或滤器施加超声波的同时用滤器对该分散液进行过滤；所述旋风分离器利用旋风分离器对用超声波过滤机过滤而得的滤液进行分级处理。
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公开(公告)号：CN105798767B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201610211050.3
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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公开(公告)号：CN105856061A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610211042.9
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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