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公开(公告)号：CN105798767B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201610211050.3
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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公开(公告)号：CN103429383B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280013296.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B7/24 , B24B37/10 , G02F1/1333
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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公开(公告)号：CN103429383A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201280013296.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B7/24 , B24B37/10 , G02F1/1333
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105798767A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610211050.3
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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公开(公告)号：CN102672599A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210068484.4
申请日：2012-03-15
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨装置，具有：板状体贴附部，其贴附板状体；板状体保持部，其保持所述板状体贴附部；及研磨件，其与所述板状体贴附部对向配置，对由所述板状体贴附部贴附的所述板状体的研磨面进行研磨，其中，所述板状体贴附部在所述研磨件的对向面具有平面部分，在该平面部分具备板状体的贴附部，所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
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公开(公告)号：CN105856061A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610211042.9
申请日：2012-03-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/26 , G02F1/1303 , G02F2201/48
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。
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公开(公告)号：CN102528644B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201110440972.9
申请日：2011-12-26
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法，该玻璃板的连续研磨装置中，具有将玻璃板向一个方向移送的研磨台和在该研磨台的上方沿玻璃板的移送方向配置的多个研磨工具，各研磨工具具有从该研磨工具的质量中心偏心的偏心轴，以该研磨工具的研磨面和所述玻璃板的被研磨面平行的方式，保持该研磨工具的姿势的同时进行绕所述偏心轴公转的偏心旋转运动，且将相邻至少3个以上的研磨工具作为1组，设定构成该组的各研磨工具的旋转相位差，以使由构成该组的研磨工具产生的反作用力相互抵消。
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公开(公告)号：CN102528644A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110440972.9
申请日：2011-12-26
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法，该玻璃板的连续研磨装置中，具有将玻璃板向一个方向移送的研磨台和在该研磨台的上方沿玻璃板的移送方向配置的多个研磨工具，各研磨工具具有从该研磨工具的质量中心偏心的偏心轴，以该研磨工具的研磨面和所述玻璃板的被研磨面平行的方式，保持该研磨工具的姿势的同时进行绕所述偏心轴公转的偏心旋转运动，且将相邻至少3个以上的研磨工具作为1组，设定构成该组的各研磨工具的旋转相位差，以使由构成该组的研磨工具产生的反作用力相互抵消。
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