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公开(公告)号:CN101945564A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN201010293454.4
申请日:2005-10-31
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H05K9/00
CPC classification number: H05K9/0096 , H01J2211/446
Abstract: 本发明提供一种导电性层积体的制造方法,所述的导电性层积体具有基体和形成于基体上的导电膜,在基体表面上通过以下工序形成导电膜:(A)使用氧化钛粉末和氧化锌粉末制造的靶材,通过溅射法形成氧化物层的工序,(B)使用银靶材或银合金靶材,通过溅射法形成金属层的工序,重复前述(A)、(B)的工序计2n次,n为1以上的整数,最后由(A)工序形成氧化物层,从而形成为自基体侧总计交错层积了(2n+1)层氧化物层和金属层的多层结构体的导电膜。
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公开(公告)号:CN101066011A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200580040719.7
申请日:2005-10-31
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明为以透射·反射带宽且导电性(电磁波屏蔽性)、可见光透射性和近红外线屏蔽性良好为目的的导电性层积体(10),所述导电性层积体(10)具有基体(11)和形成于基体(11)上的导电膜(12),导电膜(12)为自基体(11)侧总计交错层积了(2n+1)层氧化物层(12a)和金属层(12b)的多层结构体,其中,n为1以上的整数,氧化物层(12a)含有氧化锌和折射率在2.3以上的高折射率金属氧化物作为主要成分,金属层(12b)含有银或银合金作为主要成分。
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