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公开(公告)号:CN101945564A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN201010293454.4
申请日:2005-10-31
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H05K9/00
CPC classification number: H05K9/0096 , H01J2211/446
Abstract: 本发明提供一种导电性层积体的制造方法,所述的导电性层积体具有基体和形成于基体上的导电膜,在基体表面上通过以下工序形成导电膜:(A)使用氧化钛粉末和氧化锌粉末制造的靶材,通过溅射法形成氧化物层的工序,(B)使用银靶材或银合金靶材,通过溅射法形成金属层的工序,重复前述(A)、(B)的工序计2n次,n为1以上的整数,最后由(A)工序形成氧化物层,从而形成为自基体侧总计交错层积了(2n+1)层氧化物层和金属层的多层结构体的导电膜。
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公开(公告)号:CN101119842A
公开(公告)日:2008-02-06
申请号:CN200680004730.2
申请日:2006-02-16
CPC classification number: H05K9/0096 , B32B17/10018
Abstract: 提供了导电性和可见光透射性优良的导电性层叠体,等离子体显示器用电磁波屏蔽膜,以及电磁波屏蔽性优良、透射·反射带宽、且可见光透射率高的等离子体显示器用保护板。其中,使用了导电性层叠体10,该导电性层叠体10具有从该基体11侧开始依次层叠有第1氧化物层12a、金属层12b和第2氧化物层12c的3层结构的导电膜或者重复该3层结构的3×n层结构的导电膜,其中,n为2以上的整数,第1氧化物层12a含有氧化锌和氧化钛或氧化铌,金属层12b是含有银的层,第2氧化物层12c含有氧化锌与氧化铝的混合物等。
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公开(公告)号:CN101119842B
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200680004730.2
申请日:2006-02-16
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: H05K9/0096 , B32B17/10018
Abstract: 提供了导电性和可见光透射性优良的导电性层叠体,等离子体显示器用电磁波屏蔽膜,以及电磁波屏蔽性优良、透射·反射带宽、且可见光透射率高的等离子体显示器用保护板。其中,使用了导电性层叠体10,该导电性层叠体10具有从该基体11侧开始依次层叠有第1氧化物层12a、金属层12b和第2氧化物层12c的3层结构的导电膜或者重复该3层结构的3×n层结构的导电膜,其中,n为2以上的整数,第1氧化物层12a含有氧化锌和氧化钛或氧化铌,金属层12b是含有银的层,第2氧化物层12c含有氧化锌与氧化铝的混合物等。
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公开(公告)号:CN101854794A
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN201010182858.6
申请日:2004-08-20
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: H05K9/0096 , H01J2211/446
Abstract: 一种在透明的基材(2)上设置电磁波屏蔽膜(100)的电磁波屏蔽层叠体(1),所述电磁波屏蔽膜(2)从所述基材(2)侧依次具有:由折射率为大于等于2.0的物质形成的第1高折射率层(31),以氧化锌为主要成份的第1氧化物层(32),以银为主要成份的导电层(33)以及由折射率为大于等于2.0的物质形成的第2高折射率层。
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公开(公告)号:CN101803489A
公开(公告)日:2010-08-11
申请号:CN200880107651.3
申请日:2008-09-18
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: H05K9/0088 , Y10T428/26 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供透射·反射带宽、导电性(电磁波屏蔽性)、可见光透射性、防可见光反射性、近红外线屏蔽性及耐湿性良好的导电性层叠体,使用了该导电性层叠体的等离子显示器用电磁波屏蔽体等。该导电性层叠体是包括基体(21)和形成于基体(21)上的导电膜(22)的导电性层叠体(20),其特征在于,导电膜(22)是从基体(21)侧开始依次交替层叠合计2n+1层[n为1~12的整数]的高折射率层(23a~23e)和金属层(24a~24d)、且在离基体(21)最远的位置还具备碳氢化合物层(25)的多层构造体,高折射率层(23a~23e)的折射率为1.5~2.7,碳氢化合物层(25)含有碳原子和氢原子且氢原子含量为9~50原子%。
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公开(公告)号:CN1839669A
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:CN200480024208.1
申请日:2004-08-20
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: H05K9/0096 , H01J2211/446
Abstract: 一种在透明的基材(2)上设置电磁波屏蔽膜(100)的电磁波屏蔽层叠体(1),所述电磁波屏蔽膜(2)从所述基材(2)侧依次具有:由折射率为大于等于2.0的物质形成的第1高折射率层(31),以氧化锌为主要成份的第1氧化物层(32),以银为主要成份的导电层(33)以及由折射率为大于等于2.0的物质形成的第2高折射率层。
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公开(公告)号:CN103518146A
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201280022430.2
申请日:2012-05-09
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C23C16/448 , B05D1/60 , B05D5/083 , B05D2203/35 , B29D11/00865 , C03C17/30 , C03C2217/75 , C03C2218/152 , C23C16/30 , C23C16/4485 , C23C16/45561
Abstract: 本发明的目的在于提供可制造高耐久性的含氟有机硅化合物薄膜并能够连续进行成膜工序的制造方法及制造装置。本发明提供含氟有机硅化合物薄膜的制造方法及可很好地用于所述制造方法的制造装置,其特征在于,依次包括以下的(a)~(c)的工序:(a)将加热容器内的含氟有机硅化合物升温至蒸镀开始温度的升温工序;(b)达到蒸镀开始温度后,对来自所述含氟有机硅化合物的蒸气进行排气的预处理工序;(c)向真空室内的基板上供给实施了所述预处理工序的含氟有机硅化合物的蒸气而形成含氟有机硅化合物薄膜的成膜工序。
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公开(公告)号:CN103492914B
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201280019907.1
申请日:2012-04-26
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G02B1/113
Abstract: 本发明提供反射色具有适度的色彩的同时其多色化得到抑制的防反射层叠体。防反射层叠体(1)具有基体(2)和层叠于该基体(2)的防反射层(3)。该防反射层(3)具有4层结构,自基体侧依次具有第一折射率层(31)、第二折射率层(32)、第三折射率层(33)和第四折射率层(34)。此外,第一折射率层(31)的折射率为1.6~1.9,第二折射率层(32)的折射率为2.2~2.5,第三折射率层(33)的折射率为2.0~2.3,第四折射率层的折射率(34)为1.2~1.5,且第二折射率层(32)的折射率比第三折射率层(33)的折射率大。
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公开(公告)号:CN103492914A
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN201280019907.1
申请日:2012-04-26
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供反射色具有适度的色彩的同时其多色化得到抑制的防反射层叠体。防反射层叠体(1)具有基体(2)和层叠于该基体(2)的防反射层(3)。该防反射层(3)具有4层结构,自基体侧依次具有第一折射率层(31)、第二折射率层(32)、第三折射率层(33)和第四折射率层(34)。此外,第一折射率层(31)的折射率为1.6~1.9,第二折射率层(32)的折射率为2.2~2.5,第三折射率层(33)的折射率为2.0~2.3,第四折射率层的折射率(34)为1.2~1.5,且第二折射率层(32)的折射率比第三折射率层(33)的折射率大。
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公开(公告)号:CN101151557A
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200680010130.7
申请日:2006-02-02
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G02B5/08 , C23C14/06 , G02F1/1335 , G02F1/13357
Abstract: 本发明提供了一种在可见光域内具有高反射率、耐湿性,特别是置于高温高湿条件之后仍能维持高反射率以及对硫化氢的耐性高的高反射镜。该高反射镜是基板上设有银膜的高反射镜,其特征在于,该高反射镜的最表面形成保护膜,该保护膜的衰减系数是0.1以下,所述保护膜是碳膜。所述银膜的基板侧形成基底膜,所述基底膜为氧化钛膜,且氧化钛膜由缺氧的靶形成。
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