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公开(公告)号：CN103910161A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201310741157.5
申请日：2013-12-27
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够抑制玻璃基板的处理造成的损伤的玻璃基板吸附用具及玻璃基板的制造方法。一种玻璃基板吸附用具，其具备：流路（81）；吸附部（60），其能够利用范德瓦尔斯力吸附玻璃基板；压力控制部（80a），其使所述流路（81）内的流体压力变化；片材（100），其在所述流路（81）与所述吸附部（60）之间通过所述流体压力的变化而变形，以使在所述吸附部（60）和与所述吸附部（60）接触的玻璃基板之间产生的吸附力变化。一种玻璃基板的制造方法，具有研磨玻璃基板的工序、清洗玻璃基板的工序、检查玻璃基板的工序，其特征在于，使用所述玻璃基板吸附用具来搬运玻璃基板。
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