压印用模及其制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101610888B

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN200880003883.4

    申请日:2008-01-22

    Abstract: 本发明提供设置在表面的被覆层不易剥离的压印用模及其制造方法。该压印用模的特征在于,包括模主体、设置于该模主体的表面的由脱模剂形成的被覆层,所述脱模剂含有下式(1)表示的化合物,式中,R=Rf-X-,且左右的R是相同的基团,Rf=全氟烷基,X=由-(OC3F6)-、-(OC2F4)-、-(OCF2)-中的1种以上构成且该单元合计为1以上的基团,Y=有机基团,n的平均值=2~10,Z=-Si(R1)m(R2)3-m,R1=羟基或可水解的基团,R2=氢原子或烃基,m=1~3。

    模具及具有转印精细图形的基材的制造方法

    公开(公告)号:CN100575036C

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200580040754.9

    申请日:2005-11-28

    Abstract: 本发明提供模具以及具有转印精细图形的基材的制造方法。作为用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具,其特征在于,具备在形成下述中间层(A)的表面具有基于官能团(x)的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层(B)之间的中间层(A)、具有精细图形的下述表面层(B)。中间层(A):由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(1)形成的层。表面层(B):由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团(y)的含氟聚合物(2)形成,于表面具有精细图形的层。

    模具及具有转印精细图形的基材的制造方法

    公开(公告)号:CN101065226A

    公开(公告)日:2007-10-31

    申请号:CN200580040754.9

    申请日:2005-11-28

    Abstract: 本发明提供模具以及具有转印精细图形的基材的制造方法。作为用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具,其特征在于,具备在形成下述中间层(A)的表面具有基于官能团(x)的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层(B)之间的中间层(A)、具有精细图形的下述表面层(B)。中间层(A):由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(1)形成的层。表面层(B):由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团(y)的含氟聚合物(2)形成,于表面具有精细图形的层。

    压印用模及其制造方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101610888A

    公开(公告)日:2009-12-23

    申请号:CN200880003883.4

    申请日:2008-01-22

    Abstract: 本发明提供设置在表面的被覆层不易剥离的压印用模及其制造方法。该压印用模的特征在于,包括模主体、设置于该模主体的表面的由脱模剂形成的被覆层,所述脱模剂含有式(1)表示的化合物,式中,R=Rf-X-,且左右的R是相同的基团,Rf=全氟烷基,X=由-(OC3F6)-、-(OC2F4)-、-(OCF2)-中的1种以上构成且该单元合计为1以上的基团,Y=有机基团,n的平均值=2~10,Z=-Si(R1)m(R2)3-m,R1=羟基或可水解的基团,R2=氢原子或烃基,m=1~3。

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