公开(公告)号：CN101981478B

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN200980112453.0

申请日：2009-04-06

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 海田由里子 ,  坂本宽 ,  见矢木崇平 ,  樱井宏巳 ,  池田康宏 ,  志堂寺荣治 ,  川本昌子

IPC: G02B5/30 ,  G02F1/1335

CPC classification number: G02B5/3058 ,  G02F1/133536 ,  G02F2001/133548

Abstract: 本发明提供可容易地制造在可见光范围内显示出高偏振光分离能力且提高了短波长范围的透射率的线栅型偏振器的方法。通过满足条件(A)～(F)的蒸镀法在表面形成有多条凸条(12)的透光性基板(14)上形成基底层(22)、第一金属细线(24)和第二金属细线(30)。(A)从成角度θL的方向对凸条(12)的上表面(16)和第一侧面(18)蒸镀基底层材料；(B)从与条件(A)相反的成角度θR的方向对第一基底层(22a)的上表面和第二侧面(20)蒸镀基底层材料；(C)θL、θR为60°～90°；(D)基底层(22)的高度Hma1为1～20nm；(E)对基底层(22)的上表面和沟(26)的底面(28)蒸镀金属或金属化合物；(F)第一金属细线(24)的高度Hma2和凸条的高度Hp满足40nm≤Hma2≤0.9×Hp。

公开(公告)号：CN101981479A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980112502.0

申请日：2009-04-02

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 海田由里子 ,  坂本宽 ,  见矢木崇平 ,  樱井宏巳 ,  池田康宏 ,  志堂寺荣治 ,  川本昌子

IPC: G02B5/30 ,  G02F1/1335

CPC classification number: G02B5/3058 ,  G02F1/133536 ,  G02F2001/133548

Abstract: 本发明提供在可见光范围内对从正面侧入射的光显示出高偏振度、高p偏振光透射率和高s偏振光反射率，并且对从背面侧入射的光显示出低s偏振光反射率的线栅型偏振器及其制造方法。该线栅型偏振器(10)具有以间距(Pp)形成于透光性基板(14)的表面的凸条(12)，凸条(12)的上表面(16)、第一侧面(18)、第二侧面(20)这共计3个面被金属细线(22)被覆，满足下述条件：(a)被覆第一侧面(18)的金属细线(22)的厚度Dm1和被覆第二侧面(20)的金属细线(22)的厚度Dm2在20以下；(b)被覆上表面(16)的金属细线(22)的厚度Hm和凸条(12)的高度Hp满足40nm≤Hm≤0.5×Hp；(c)Dm1、Dm2、Pp和凸条(12)的宽度Dp满足Dm1+Dm2≤0.4×(Pp-Dp)。

公开(公告)号：CN101981478A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980112453.0

申请日：2009-04-06

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 海田由里子 ,  坂本宽 ,  见矢木崇平 ,  樱井宏巳 ,  池田康宏 ,  志堂寺荣治 ,  川本昌子

IPC: G02B5/30 ,  G02F1/1335

CPC classification number: G02B5/3058 ,  G02F1/133536 ,  G02F2001/133548

Abstract: 本发明提供可容易地制造在可见光范围内显示出高偏振光分离能力且提高了短波长范围的透射率的线栅型偏振器的方法。通过满足条件(A)～(F)的蒸镀法在表面形成有多条凸条(12)的透光性基板(14)上形成基底层(22)、第一金属细线(24)和第二金属细线(30)。(A)从成角度θL的方向对凸条(12)的上表面(16)和第一侧面(18)蒸镀基底层材料；(B)从与条件(A)相反的成角度θR的方向对第一基底层(22a)的上表面和第二侧面(20)蒸镀基底层材料；(C)θL、θR为60°～90°；(D)基底层(22)的高度Hma1为1～20nm；(E)对基底层(22)的上表面和沟(26)的底面(28)蒸镀金属或金属化合物；(F)第一金属细线(24)的高度Hma2和凸条的高度Hp满足40nm≤Hma2≤0.9×Hp。