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公开(公告)号：CN102548709A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201080030176.1
申请日：2010-07-01
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 森下顺也 , 舟山吉幸 , 甲斐辰彦
IPC: B24B37/04 , B24B37/34 , B24B37/20
CPC classification number: B24B7/245
Abstract: 一种板状体的研磨装置，其特征在于，该板状体的研磨装置具备：为了吸附并保持板状体的主表面中的第一面而构成的挤压垫；以及按压于所述板状体的所述主表面中的第二面，为了研磨该第二面而构成的研磨垫，位于所述板状体的边部的外侧附近的挤压垫沿该边部热收缩，并被压接。
