公开(公告)号：CN103934747A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410027681.0

申请日：2014-01-21

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 木村宏 ,  伊藤正文 ,  山口龙 ,  高野茂喜 ,  江面裕行

IPC: B24B37/08

CPC classification number: B24B37/08 ,  B24B37/005

Abstract: 本发明涉及玻璃基板的研磨方法及制造方法、以及研磨装置。提供能够获得平行度优异的玻璃基板的玻璃基板的研磨方法以及研磨装置。玻璃基板的研磨方法的特征在于，基于使与研磨装置的平板的研磨面抵接的多个玻璃基板的位置变化的马达的电力或者电流的检测值，对上述玻璃基板的研磨条件进行控制，以使得在上述研磨面中研磨速度差变小。研磨装置具备：平板，该平板具有研磨面；保持件，该保持件能够保持要利用上述研磨面进行研磨的多个玻璃基板；马达，该马达使上述研磨面与上述保持件之间的相对位置变化；以及控制部，该控制部基于上述马达的电力或者电流的检测值对上述玻璃基板的研磨条件进行控制，以使得在上述研磨面中研磨速度差变小。