树脂层的去除方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105032874A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510220079.3

    申请日:2015-04-30

    CPC classification number: Y02W30/20 B08B11/04

    Abstract: 本发明涉及一种树脂层的去除方法,其去除配置在玻璃基板上的树脂层,具有如下工序:使碱浓度为15质量%以上且含有3质量%以上式(1)所示的化合物的碱水溶液与树脂层接触,去除树脂层,RO-(LO)n-H 式(1),式(1)中,R表示烷基,L表示亚烷基,n表示1以上的整数。

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