公开(公告)号：CN1914695A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200580004070.3

申请日：2005-02-02

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 光井彰 ,  小高秀文 ,  米森重明 ,  赤尾安彦

IPC: H01B13/00 ,  H01B5/14

CPC classification number: C03C17/245 ,  C03C2217/231 ,  C03C2218/154 ,  C03C2218/328 ,  C03C2218/33 ,  G02F1/13439 ,  H01J9/02 ,  H01J2217/04 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供由能够很容易地形成布线图案、且可以低成本实现低电阻的透明度良好的氧化锡膜形成的透明电极的制造方法。该透明电极的制造方法是在基板上形成了制作有布线图案的氧化锡膜的透明电极的制造方法，该方法的特征在于，包括在基板上形成具有吸光性的氧化锡膜的工序，用蚀刻液溶解具有吸光性的氧化锡膜的一部分以制作布线图案的工序，对形成了布线图案的具有吸光性的氧化锡膜进行加热处理以获得氧化锡膜的工序。

公开(公告)号：CN1914695B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200580004070.3

申请日：2005-02-02

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 光井彰 ,  小高秀文 ,  米森重明 ,  赤尾安彦

IPC: H01B13/00 ,  H01B5/14

CPC classification number: C03C17/245 ,  C03C2217/231 ,  C03C2218/154 ,  C03C2218/328 ,  C03C2218/33 ,  G02F1/13439 ,  H01J9/02 ,  H01J2217/04 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供由能够很容易地形成布线图案、且可以低成本实现低电阻的透明度良好的氧化锡膜形成的透明电极的制造方法。该透明电极的制造方法是在基板上形成了制作有布线图案的氧化锡膜的透明电极的制造方法，该方法的特征在于，包括在基板上形成具有吸光性的氧化锡膜的工序，用蚀刻液溶解具有吸光性的氧化锡膜的一部分以制作布线图案的工序，对形成了布线图案的具有吸光性的氧化锡膜进行加热处理以获得氧化锡膜的工序。