公开(公告)号：CN1239269C

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN00817612.4

申请日：2000-11-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小岛弦 ,  增茂邦雄 ,  高桥亮 ,  浅利悟郎

IPC: B05B7/04 ,  B05D3/04

CPC classification number: H01L51/0003 ,  B05D1/025 ,  B05D2401/90

Abstract: 本发明的特征是，对在50℃·1气压下为气体、但在50℃·100气压以下的压力下可液化的介质进行加压液化，然后在惰性氛围气中向基板喷射在该液化介质中溶解或分散有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀；或者使具有50℃以下临界温度和100气压以下临界压力的介质处于超临界状态，然后在惰性氛围气中向基板喷射在此介质中溶解或分解有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀。

公开(公告)号：CN1413129A

公开(公告)日：2003-04-23

申请号：CN00817612.4

申请日：2000-11-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小岛弦 ,  增茂邦雄 ,  高桥亮 ,  浅利悟郎

IPC: B05B7/04 ,  B05D3/04

CPC classification number: H01L51/0003 ,  B05D1/025 ,  B05D2401/90

Abstract: 本发明的特征是，对在50℃·1气压下为气体、但在50℃·100气压以下的压力下可液化的介质进行加压液化，然后在惰性氛围气中向基板喷射在该液化介质中溶解或分散有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀；或者使具有50℃以下临界温度和100气压以下临界压力的介质处于超临界状态，然后在惰性氛围气中向基板喷射在此介质中溶解或分解有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀。