一种G6型高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺

    公开(公告)号:CN107185790A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710340530.4

    申请日:2017-05-15

    Inventor: 张泽林

    CPC classification number: B05D7/227 B05D1/025 B05D1/38 B05D3/002

    Abstract: 本发明公开了一种G6型高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺,包括如下步骤:坩埚检查——坩埚加热——配粉——搅拌——试喷——喷涂——冷却。本发明中的坩埚喷涂用纯水和硅胶把粉末喷料氮化硅涂喷在坩埚表面,在加热作用下,使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面,形成粉状涂层,涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离,使液态硅不与石英坩埚反应,而使石英坩埚破裂,及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。

    用于选择性沉积颗粒材料的RESS方法

    公开(公告)号:CN1938105A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200580010374.0

    申请日:2005-03-31

    CPC classification number: B05D1/025 B05D1/12 B05D2401/90

    Abstract: 一种在表面上使所需物质形成图案的方法,包括:(i)用压缩流体充满容器(12);(ii)将包括溶剂和所需物质的第一进料流和包括压缩流体的第二进料流引入该容器,其中相对于其在溶剂中的溶解度,所需物质较不可溶于压缩流体,以及溶剂可溶于压缩流体,其中第一进料流分散在压缩流体中,使得可以将溶剂萃取进入压缩流体并沉淀所需物质的颗粒;(iii)通过包括排料装置(13)的限制管道(16)从容器(12)排出各组分,在排料装置(13)出口以外的一点产生所需物质的颗粒成形束;和(iv)将接收体表面(14)暴露于颗粒的成形束。

    有机材料的制膜方法及装置

    公开(公告)号:CN1239269C

    公开(公告)日:2006-02-01

    申请号:CN00817612.4

    申请日:2000-11-27

    CPC classification number: H01L51/0003 B05D1/025 B05D2401/90

    Abstract: 本发明的特征是,对在50℃·1气压下为气体、但在50℃·100气压以下的压力下可液化的介质进行加压液化,然后在惰性氛围气中向基板喷射在该液化介质中溶解或分散有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀;或者使具有50℃以下临界温度和100气压以下临界压力的介质处于超临界状态,然后在惰性氛围气中向基板喷射在此介质中溶解或分解有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀。

    有机材料的制膜方法及装置

    公开(公告)号:CN1413129A

    公开(公告)日:2003-04-23

    申请号:CN00817612.4

    申请日:2000-11-27

    CPC classification number: H01L51/0003 B05D1/025 B05D2401/90

    Abstract: 本发明的特征是,对在50℃·1气压下为气体、但在50℃·100气压以下的压力下可液化的介质进行加压液化,然后在惰性氛围气中向基板喷射在该液化介质中溶解或分散有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀;或者使具有50℃以下临界温度和100气压以下临界压力的介质处于超临界状态,然后在惰性氛围气中向基板喷射在此介质中溶解或分解有机材料而获得的混合材料对基板进行有机材料的喷镀。

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