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公开(公告)号：CN114318271A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202210100228.2
申请日：2022-01-27
Applicant: 昆山晟成光电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种集成RPD和PVD的镀膜设备。该集成RPD和PVD的镀膜设备主要包括：自动化设备、载板、上料腔室、RPD工艺腔室、移载腔室、PVD工艺腔室以及下料腔室。其中，载板上设置有卡槽，卡槽被配置为放置太阳能电池，上料腔室连通于第一抽真空装置、下料腔室连通于第二抽真空装置。RPD工艺腔室、移载腔室和RPD工艺腔室呈“U型”结构排列，RPD工艺腔室与上料腔室连通，PVD工艺腔室通过移载腔室连通于RPD工艺腔室，且下料腔室连通于PVD工艺腔室。该集成RPD和PVD的镀膜设备结构简单、节约成本，提高了生产效率，能够提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
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公开(公告)号：CN114289237A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202210097489.3
申请日：2022-01-27
Applicant: 昆山晟成光电科技有限公司
IPC: B05B17/06
Abstract: 本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种自动补液的雾化装置。该自动补液的雾化装置主要包括补液槽和储液槽。其中，补液槽内盛装有第一液体，且补液槽内设置有超声雾化片，超声雾化片能够将补液槽内的第一液体雾化为雾滴。储液槽内盛装有第二液体，且补液槽内设置有驱动装置，驱动装置能够将第二液体驱动至补液槽内，以使第一液体的体积保持不变。该自动补液的雾化装置通过驱动装置以一定的速度驱动储液槽中的第二液体进入至补液槽中，进而实现补液槽中的第一液体的体积恒定，即实现第一液体的液面高度保持不变，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
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公开(公告)号：CN216786247U
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202220227449.1
申请日：2022-01-27
Applicant: 昆山晟成光电科技有限公司
Abstract: 本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种集成RPD和PVD的镀膜设备。该集成RPD和PVD的镀膜设备主要包括：自动化设备、载板、上料腔室、RPD工艺腔室、移载腔室、PVD工艺腔室以及下料腔室。其中，载板上设置有卡槽，卡槽被配置为放置太阳能电池，上料腔室连通于第一抽真空装置、下料腔室连通于第二抽真空装置。RPD工艺腔室、移载腔室和RPD工艺腔室呈“U型”结构排列，RPD工艺腔室与上料腔室连通，PVD工艺腔室通过移载腔室连通于RPD工艺腔室，且下料腔室连通于PVD工艺腔室。该集成RPD和PVD的镀膜设备结构简单、节约成本，提高了生产效率，能够提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
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公开(公告)号：CN216779226U
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202220222549.5
申请日：2022-01-27
Applicant: 昆山晟成光电科技有限公司
IPC: B05B17/06
Abstract: 本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种自动补液的雾化装置。该自动补液的雾化装置主要包括补液槽和储液槽。其中，补液槽内盛装有第一液体，且补液槽内设置有超声雾化片，超声雾化片能够将补液槽内的第一液体雾化为雾滴。储液槽内盛装有第二液体，且补液槽内设置有驱动装置，驱动装置能够将第二液体驱动至补液槽内，以使第一液体的体积保持不变。该自动补液的雾化装置通过驱动装置以一定的速度驱动储液槽中的第二液体进入至补液槽中，进而实现补液槽中的第一液体的体积恒定，即实现第一液体的液面高度保持不变，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
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