公开(公告)号：CN1158494A

公开(公告)日：1997-09-03

申请号：CN96116703.3

申请日：1996-12-18

Applicant: 易通公司

Inventor： J·G·布莱克 ,  R·贝克 ,  D·奇曼 ,  M·琼斯 ,  L·曼恩 ,  F·辛克莱 ,  D·K·史东

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/022

Abstract: 俘获和清除在抽真空的离子注入器内部运动的不纯粒子的方法包括步骤：提供具有不纯粒子容易粘附的表面的粒子收集器；把粒子收集器固定到注入器，使粒子粘附表面处在与在内部区域运动的不纯粒子的流体交流中；在预定时间周期以后，把粒子收集器从注入器中取出。在与粒子收集器结合的离子注入器中，收集器包括不纯粒子容易粘附的表面和固定件，后者把粒子收集器可拆卸地固定到注入器，使粒子粘附表面处在与注入器的抽真空的内部的流体交流中。