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公开(公告)号：CN104795303B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201510083714.8
申请日：2010-05-19
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317 , B82Y40/00 , B82Y10/00 , G03F7/20
CPC classification number: H01J37/3026 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70475 , G06T1/20 , G06T1/60 , H01J37/045 , H01J37/3002 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/3175 , H01J2237/31761 , H01J2237/31764 , H04N1/405
Abstract: 本发明提出一种使用带电粒子光刻机器根据图案数据将晶片曝光的方法，其中该带电粒子光刻机器生成用于将所述晶片曝光的多个带电粒子小束，该方法包括：提供所述图案数据作为向量格式的剂量映射；栅格化所述图案数据，所述栅格化包括渲染向量剂量映射以生成多级灰度数据和将所述多级灰度图案数据递色以生成两级黑/白数据；将所述两级黑/白图案数据供应给所述带电粒子光刻机器；和基于所述两级黑/白数据将所述带电粒子光刻机器生成的小束接通或切断；其中所述方法包括对所述向量剂量映射和/或所述多级灰度数据和/或所述两级黑/白数据作出修正调整，以修正小束位置、尺寸、电流或其他特性的变化。
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公开(公告)号：CN107068528A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201611235991.7
申请日：2016-12-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第十八研究所
IPC: H01J37/315 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/315 , H01J37/3002 , H01J2237/0213 , H01J2237/3104
Abstract: 本发明公开了一种电子束聚焦线圈在焊接真空室内的电子枪保护装置；包括：底板；底板的中心位置开设有尺寸大于电子枪口外径的矩形孔；底板上表面的四个角上分别开设有一个紧固块插槽；每个紧固块插槽内插接有一个挡板紧固块；底板上开设有一个紧固套插槽、一个底座插槽；紧固套插槽和底座插槽位于矩形孔的两端，紧固套插槽内插接有第一枪口紧固套，底座插槽内插接有紧固套底座；紧固套底座上开设有螺栓孔；紧固螺丝穿过上述螺栓孔后与第二枪口紧固套连接，进而通过紧固螺丝调节第二枪口紧固套的动作；第一枪口紧固套和第二枪口紧固套的相对面分别为圆弧面；底板的下表面设置有挡板；挡板上开设有电子束通过的圆孔；挡板与四个紧固块相连接。
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公开(公告)号：CN107046795A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201611104147.0
申请日：2016-12-05
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H05K9/00
CPC classification number: H05K9/00 , G12B17/00 , G12B17/02 , H01J37/09 , H01J37/3002 , H01J2237/0264 , H05K9/0001 , H05K9/0003 , H05K9/0075
Abstract: 一种板包括其中的第一导磁板和第二导磁板。第一导磁板具有第一导磁方向。第二导磁板与第一导磁板重叠。第二导磁板具有第二导磁方向。第一导磁方向和第二导磁方向交叉。
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公开(公告)号：CN106409637A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610651631.9
申请日：2011-11-09
Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
Inventor： 本诺·齐格利戈 , 卢卡·波皮 , 拉斯-奥克·内斯隆德 , 沃纳·哈格 , 库尔特·霍尔姆 , 安德斯·克里斯蒂安松
CPC classification number: H01J33/04 , B32B37/12 , B32B37/18 , B32B2307/302 , B32B2307/714 , C23C28/322 , C23C28/345 , C23C28/3455 , G21K5/04 , H01J29/006 , H01J37/3002 , H01J2237/164 , Y10T29/49002 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供了一种和在腐蚀环境中工作的高性能电子束发生器一起使用的电子出射窗箔。该电子出射窗箔包括夹层结构，该夹层结构具有Ti膜(202)、比Ti具有更高热导率的材料的第一层(204)和能够保护所述膜(202)避免被所述腐蚀环境破坏的材料的挠性第二层(206)，其中该第二层(206)面向该腐蚀环境。
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公开(公告)号：CN105874560A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071806.8
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/065
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104810232A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510084685.7
申请日：2010-05-19
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J37/3026 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70475 , G06T1/20 , G06T1/60 , H01J37/045 , H01J37/3002 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/3175 , H01J2237/31761 , H01J2237/31764 , H04N1/405
Abstract: 本发明涉及二次扫描，具体提出一种根据图案数据将晶片曝光的带电粒子光刻系统，该系统包括：电子光学柱，用于生成曝光晶片的多个电子小束，所述电子光学柱包括用于将所述小束接通或切断的小束阻断器阵列；将用于控制所述小束的切换的小束控制数据提供给所述小束阻断器阵列的数据路径；和晶片定位系统，用于在所述电子光学柱下方以x-方向移动晶片，所述晶片定位系统被提供以来自所述数据路径的同步信号，以将所述晶片与来自所述电子光学柱的电子束对准；其中所述数据路径包括用于处理图案数据并生成所述小束控制数据的一个或多个处理单元和用于将所述小束控制数据传送到所述小束阻断器阵列的一条或多条传输信道。
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公开(公告)号：CN102460631B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201080032733.3
申请日：2010-05-19
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3026 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70475 , G06T1/20 , G06T1/60 , H01J37/045 , H01J37/3002 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/3175 , H01J2237/31761 , H01J2237/31764 , H04N1/405
Abstract: 本发明提出一种使用多个带电粒子小束将晶片曝光的方法。该种方法包含：识别在这些小束中的无作用小束；分配这些小束的第一子集，其用于将晶片的第一部分曝光，第一子集不包括所识别的无作用小束；执行第一扫描，其使用这些小束的第一子集将晶片的第一部分曝光；分配这些小束的第二子集，其用于将晶片的第二部分曝光，第二子集也不包括所识别的无作用小束；以及，执行第二扫描，其使用这些小束的第二子集以将晶片的第二部分曝光；其中晶片的第一与第二部分不重迭且合起来包含将被曝光的晶片的完整区域。
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公开(公告)号：CN102881546A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210240654.2
申请日：2012-07-12
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/3002 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J2237/006 , H01J2237/08 , H01J2237/0827
Abstract: 本发明涉及电感耦合等离子体（ICP）离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构。可打开的气体通道实现在带电粒子束系统中的电感耦合等离子体源中的处理气体或热烘气体的快速泵出。阀，通常定位在源电极中或形成为气体入口的一部分，在打开以泵空等离子体腔时增加气体流导并且在操作等离子体源期间关闭。
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公开(公告)号：CN1097301C
公开(公告)日：2002-12-25
申请号：CN96109322.6
申请日：1996-08-28
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
Inventor： J·G·布莱克
IPC: H01L21/265 , H01L21/322
CPC classification number: H01J37/3002 , H01J2237/0041 , H01J2237/022 , H01J2237/31701
Abstract: 提供清除粘结在离子束中和装置(46)和离子束注入装置(10)的离子束注入室(18)内表面的污染物的方法和装置。污染物是用等离子体辉光放电从中和装置和注入装置清除的。污染物还用离子束膨胀的方法从中和装置清除。
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公开(公告)号：CN109637921A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811293777.6
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/02 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/30 , H01J37/317 , G21K1/02 , G21K5/04
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；以及至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)。
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