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公开(公告)号:CN101448862B
公开(公告)日:2011-12-14
申请号:CN200680054808.1
申请日:2006-06-02
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: C08F8/00 , C08F290/12 , G03F7/027
CPC classification number: C08F8/14 , C08F220/28 , C08F283/10 , C08F290/12 , C08F290/144 , C08G59/1461 , C08G59/1494 , G03F7/033 , G03F7/0388
Abstract: 本发明涉及感光性树脂及含有该感光性树脂的感光性树脂组合物,所述感光性树脂通过以下反应而成:使松香(甲基)丙烯酸酯(a)、含有环氧基的自由基聚合性化合物(b)、及(a)和(b)以外的自由基聚合性化合物(c)进行共聚,使不饱和一元酸(d)与得到的共聚物中的环氧基进行反应,然后使多元酸酐(e)与羟基进行反应;或者使松香(甲基)丙烯酸酯(a)、不饱和一元酸(d)及(a)和(d)以外的自由基聚合性化合物(c)进行共聚,使含有环氧基的自由基聚合性化合物(b)与得到的共聚物中的羧基进行反应。本发明的感光性树脂具有来自松香的骨架,并且可溶于碱,由该感光性树脂组合物形成的涂膜与各种材料的粘合性及耐热性优良,因此在抗蚀剂领域中的应用价值高。
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公开(公告)号:CN101517486B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200780035467.8
申请日:2007-11-08
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: G03F7/033 , C08F8/14 , C08F290/12 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C08F290/12 , G03F7/033 , H05K3/287
Abstract: 本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物不仅具有可以用于光刻工序的显影特性,而且能形成耐热性、密合性、透明性均优异的固化涂膜,其式含有聚合物成分(A)和光聚合性单体(B)而形成的感光性树脂组合物,聚合物成分(A)是含有以在分子中具有2个以上羟基的聚合性单体(a-1)和在分子中具有碳数6~20的可具有交联结构的脂环式骨架的聚合性单体(a-2)为必须的单体成分的聚合物。
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