公开(公告)号：CN102376315B

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201110235514.1

申请日：2011-08-16

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 坂口龙二 ,  田中良 ,  大岛德夫

IPC: G11B5/84 ,  G11B5/667 ,  F26B21/00

CPC classification number: G11B5/8404

Abstract: 本发明涉及一种吊起干燥装置、使用其的磁记录介质用基板或磁记录介质的制造方法。该吊起干燥装置，在一边将具有中心孔(1a)的圆盘状的基板(1)浸渍在清洗槽(2)内的清洗液(L)中一边进行基板(1)的清洗之后吊起并干燥该基板(1)，其具备：插通于基板(1)的中心孔(1a)以悬吊状态支撑多个基板(1)的悬吊机构；升降机构，其在将基板(1)浸渍在清洗槽(2)内的清洗液(L)的位置和将基板(1)取出到清洗槽(2)上的位置之间升降操作悬吊机构；和喷出机构，其配置在清洗槽(2)内从悬吊机构的下方向基板(1)喷出清洗液(L)，该喷射机构对从清洗液(L)的液面吊起了的基板(1)喷射干燥气氛气体(G)。

公开(公告)号：CN102376315A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110235514.1

申请日：2011-08-16

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 坂口龙二 ,  田中良 ,  大岛德夫

IPC: G11B5/84 ,  G11B5/667 ,  F26B21/00

CPC classification number: G11B5/8404

Abstract: 本发明涉及一种吊起干燥装置、使用其的磁记录介质用基板或磁记录介质的制造方法。该吊起干燥装置，在一边将具有中心孔(1a)的圆盘状的基板(1)浸渍在清洗槽(2)内的清洗液(L)中一边进行基板(1)的清洗之后吊起并干燥该基板(1)，其具备：插通于基板(1)的中心孔(1a)以悬吊状态支撑多个基板(1)的悬吊机构；升降机构，其在将基板(1)浸渍在清洗槽(2)内的清洗液(L)的位置和将基板(1)取出到清洗槽(2)上的位置之间升降操作悬吊机构；和喷出机构，其配置在清洗槽(2)内从悬吊机构的下方向基板(1)喷出清洗液(L)，该喷射机构对从清洗液(L)的液面吊起了的基板(1)喷射干燥气氛气体(G)。

公开(公告)号：CN102422350A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201080020629.2

申请日：2010-05-14

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 坂口龙二 ,  大岛德夫 ,  王志鹏 ,  田中良

IPC: G11B5/84 ,  B08B3/12

CPC classification number: G11B5/8404 ,  B08B3/102 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67057

Abstract: 本发明提供高效地除去在基板的表面附着的尘埃等且防止在清洗后该尘埃等在基板的表面上再次附着的流水式清洗方法和流水式清洗装置。该流水式清洗方法，在清洗槽(2)内使清洗液(L)向横向流动，在将被清洗物(W)在该清洗液(L)中浸渍的状态下，在向清洗液(L)施加超声波振动的同时进行被清洗物(W)的清洗，其中通过调整在向清洗槽(2)供给清洗液(L)的多个供给口(3)和从清洗槽(2)排出清洗液(L)的多个排出口(5)中的任一个供给口(3)和/或排出口(5)流动的清洗液(L)的流量，来使清洗槽(2)内的清洗液(L)在层流的状态下流动。