具有温控功能的微流控芯片、光化学微纳加工系统和方法

    公开(公告)号:CN118079818A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410257970.3

    申请日:2024-03-06

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有温控功能的微流控芯片、光化学微纳加工系统和方法。所述微流控芯片包括第一基座、第二基座、密封组件和温控模块等;第一基座的第一基准面上设有工作部,工作部上形成有反应槽;第二基座的第二基准面上形成有第一槽孔,并且第二基座内设有光通道;密封组件包括透明封盖件,当所述第一基座与第二基座连接时,第一基准面与第二基准面贴合,工作部及透明封盖件均位于第一槽孔内,透明封盖件与反应槽的槽口密封配合,并且透明封盖件可供从光通道输出的激发光透过并进入反应槽,以驱使反应槽内的化学物质进行光化学反应;温控模块至少用于控制反应槽内的温度。所述微流控芯片具备自带温控系统、多通道、密封性好、兼容激光微纳加工系统等特点。

    一种基于单波长双光束的激光直写微纳结构的系统和方法

    公开(公告)号:CN110554577B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201910652970.2

    申请日:2019-07-19

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于单波长双光束的激光直写微纳结构的系统,包括:脉冲激光器1、第一高速光开关2、第一4f透镜组3、第一空间滤波小孔4、偏振分束镜5、连续激光器6、第二高速光开关7、第二4f透镜组8、第二空间滤波小孔9、螺旋相位板10、四分之一玻片11、第一反射镜12、第一半反半透镜13、物镜14、待光刻样品15。本方案选择两束相同波长的激光分别作为激发光源和抑制光源,利用激发光的高瞬态光强保证材料的非线性吸收用于引发光聚合反应,实现微纳结构加工,再结合相位调制技术将抑制光焦点调整为中空形状,使聚合反应进一步局域在激发光中心区域,来达到压缩聚合尺寸的目的。

    具有温控功能的微流控芯片、光化学微纳加工系统和方法

    公开(公告)号:CN118079818B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202410257970.3

    申请日:2024-03-06

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有温控功能的微流控芯片、光化学微纳加工系统和方法。所述微流控芯片包括第一基座、第二基座、密封组件和温控模块等;第一基座的第一基准面上设有工作部,工作部上形成有反应槽;第二基座的第二基准面上形成有第一槽孔,并且第二基座内设有光通道;密封组件包括透明封盖件,当所述第一基座与第二基座连接时,第一基准面与第二基准面贴合,工作部及透明封盖件均位于第一槽孔内,透明封盖件与反应槽的槽口密封配合,并且透明封盖件可供从光通道输出的激发光透过并进入反应槽,以驱使反应槽内的化学物质进行光化学反应;温控模块至少用于控制反应槽内的温度。所述微流控芯片具备自带温控系统、多通道、密封性好、兼容激光微纳加工系统等特点。

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