一种可拆卸紧凑式离子泵

    公开(公告)号:CN119400681A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411979785.1

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明属于离子泵技术领域,具体涉及一种可拆卸紧凑式离子泵。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,磁铁组件包括至少一组磁铁对,所述一组磁铁对包括两个磁铁,所述两个磁铁分别设置于所述抽气筒相对的两个内壁上,所述两个磁铁之间形成磁场;本发明将磁铁组件设置于抽气筒内部,缩短了磁隙,因而在同样满足磁场要求情况下可减小磁铁厚度,使得离子泵整体结构紧凑小巧,可适用于较小安装空间的装置。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,抽气筒和抽气筒盖板、电极与连接柱均为可拆卸连接,在需要维护和检修时,更加方便拆卸和安装,使用更加方便,可以适应不同场合的使用需求。

    一种紧凑型离子吸气复合泵
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118030446A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410179267.5

    申请日:2024-02-18

    Abstract: 本发明公开了属于真空技术领域的一种紧凑型离子吸气复合泵。其中,离子泵单元高压电极与离子泵单元阳极筒以中圆柱孔间隙配合,并通过螺钉挤压紧密连接;离子泵单元高压电极与离子泵单元壳体连接;离子泵单元磁铁与离子泵单元屏蔽磁钢通过磁力紧密贴合;离子泵单元阴极板的四个引脚安装于离子泵单元壳体内;吸气剂泵单元吸气元件模块内部串有吸气剂泵单元加热组件,吸气剂泵单元壳体分别与离子泵单元壳体、吸气剂泵单元吸气元件模块焊接;吸气剂泵单元电极安装于吸气剂泵单元加热组件上。本发明实现了非氢气体、氢气分级吸收,可以充分发挥两个功能单元的吸气特性,降低了加工难度,且便于装配。

    一种厚膜吸气材料的制备方法

    公开(公告)号:CN109879240B

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN201711277777.2

    申请日:2017-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种厚膜吸气材料的制备方法,属于电真空吸气元件制备技术领域。先将非蒸散型吸气材料粉末与有机粘结剂均匀混合,得到厚膜浆料;同时将低熔点玻璃粉与硝棉溶液或焊料与硝棉溶液混合均匀,在器件基材上均匀涂覆一层低熔点玻璃粉浆料或焊料浆料;采用浇铸、印刷、喷涂、刷涂或刮刀涂层工艺将厚膜浆料在低熔点玻璃粉或焊料涂层表面沉积;最后进行真空烧结,得到非蒸散型厚膜吸气材料。本发明的厚膜吸气材料克服体吸气材料和薄膜吸气材料的劣势,有效地同时解决装配空间和吸气容量不能兼容的问题,并且采用了一种由底层焊接层和吸气材料层组成的复合双层结构,提高了非蒸散型厚膜吸气材料在器件基底上的附着强度,提高了器件的可靠性。

    一种可拆卸紧凑式离子泵

    公开(公告)号:CN119400681B

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411979785.1

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明属于离子泵技术领域,具体涉及一种可拆卸紧凑式离子泵。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,磁铁组件包括至少一组磁铁对,所述一组磁铁对包括两个磁铁,所述两个磁铁分别设置于所述抽气筒相对的两个内壁上,所述两个磁铁之间形成磁场;本发明将磁铁组件设置于抽气筒内部,缩短了磁隙,因而在同样满足磁场要求情况下可减小磁铁厚度,使得离子泵整体结构紧凑小巧,可适用于较小安装空间的装置。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,抽气筒和抽气筒盖板、电极与连接柱均为可拆卸连接,在需要维护和检修时,更加方便拆卸和安装,使用更加方便,可以适应不同场合的使用需求。

    一种吸气剂泵自动循环测试系统及测试方法

    公开(公告)号:CN119844359A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202510104380.1

    申请日:2025-01-23

    Abstract: 本申请涉及吸气剂测试技术领域,具体涉及一种吸气剂泵自动循环测试系统及测试方法。该系统包括真空腔室、抽真空系统、烘烤温控系统、激活电源、冷却装置和供气系统,其中连接管路上的阀门、仪表以及加热、冷却、激活电源均与数据采集系统和自动控制系统相连;另外,真空腔室被孔流板分为Pm腔室和Pg腔室,Pm腔室与供气系统相连,Pg腔室中设置待检测吸气剂泵,通过数据采集系统和自动控制系统控制系统内的阀门开关,并自动完成加热激活‑低压气室压力调整‑冷却‑吸气测试的循环,同时记录Pm腔室和Pg腔室的压力,并自动计算吸气速率、吸气容量和相应的曲线。该检测系统和方法可实现多循环吸气测试的自动控制,提高测试效率和测试准确性。

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