公开(公告)号：CN117999631A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202280063090.1

申请日：2022-09-13

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 亚历山大·米勒·帕特森 ,  丹尼尔·古斯曼 ,  威廉·T·哈特 ,  克里斯蒂安·赛拉迪 ,  迈克尔·约翰·马丁 ,  王雨后 ,  迈克尔·德里蒙 ,  约翰·德鲁厄里 ,  罗伯特·格里菲思·奥尼尔 ,  吕克·阿尔巴雷德 ,  尼尔·西蒙·奥坎波

IPC: H01J37/32

Abstract: 用于直接驱动式射频功率供应源的射频校准系统包括参考盒，其包括用于将非参考输入阻抗转换成参考输出阻抗的参考电路。参考盒具有电连接至直接驱动式射频功率供应源的射频输出耦合的输入连接器。射频功率计具有电连接至参考盒的输出连接器的射频功率输入。射频功率计具有输入阻抗及基本上匹配参考盒的参考输出阻抗的输出阻抗。缆线具有电连接至射频功率计的射频功率输出的第一端及连接至测试负载的第二端，测试负载具有基本上匹配参考盒的参考输出阻抗的阻抗。控制器与射频功率计的数据接口数据通信连接。