公开(公告)号：CN112753089B

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN201980063428.1

申请日：2019-07-30

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 大卫·弗伦奇 ,  文森特·E·布克哈特 ,  卡尔·弗雷德里克·利瑟 ,  孟亮

IPC: H01J37/32 ,  H03H7/40 ,  C23C16/458 ,  C23C16/509

Abstract: 提供了一种在处理室内处理衬底用的衬底处理系统，其包含源终端、衬底支撑件、以及调谐电路。该衬底支撑件支撑该衬底且具有第一电极与第二电极，该第一电极与该第二电极通过该源终端从电源接收功率。调谐电路被连接至该第一电极或该第二电极。该调谐电路被分配用于调谐提供至该第一电极的信号。该调谐电路具有第一阻抗组及第二阻抗组中的至少一者。该第一阻抗组串联连接于该第一电极与该电源之间且通过该源终端从该电源接收第一信号。该第二阻抗组被连接于该电源的输出与参考终端之间且通过该源终端自该电源接收该第一信号。

公开(公告)号：CN112753089A

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN201980063428.1

申请日：2019-07-30

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 大卫·弗伦奇 ,  文森特·E·布克哈特 ,  卡尔·弗雷德里克·利瑟 ,  孟亮

IPC: H01J37/32 ,  H03H7/40 ,  C23C16/458 ,  C23C16/509

Abstract: 提供了一种在处理室内处理衬底用的衬底处理系统，其包含源终端、衬底支撑件、以及调谐电路。该衬底支撑件支撑该衬底且具有第一电极与第二电极，该第一电极与该第二电极通过该源终端从电源接收功率。调谐电路被连接至该第一电极或该第二电极。该调谐电路被分配用于调谐提供至该第一电极的信号。该调谐电路具有第一阻抗组及第二阻抗组中的至少一者。该第一阻抗组串联连接于该第一电极与该电源之间且通过该源终端从该电源接收第一信号。该第二阻抗组被连接于该电源的输出与参考终端之间且通过该源终端自该电源接收该第一信号。