公开(公告)号：CN112567069A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201980054132.3

申请日：2019-08-13

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 伊莱·钱 ,  阿德里安·拉沃伊 ,  普鲁肖塔姆·库马尔 ,  杰弗里·克斯滕 ,  高塔姆·达尔

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C14/22 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于处理室的气体输送系统包括用于输送第一化学品的第一通道和用于输送第二化学品的第二通道。第一通道包括第一出口阀，而第二通道包括第二出口阀。涓流气体源连接到第一和第二通道。第一接头耦合到第一出口阀，而第二接头连接到第二出口阀。公共导管连接在第一接头和第二接头之间。第一接头包括用于从推压气体源提供推压气体的输入端，而第二接头包括通向处理室的输出端。在操作期间，每次第一通道或第二通道中的一个处于运行状态。来自涓流气体源的涓流气体流入第一或第二通道中的运行通道和非运行通道。来自推入气体源的推压惰性气体流入第一接头，流过公共导管并从第二接头流出到达处理室。

公开(公告)号：CN112567069B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN201980054132.3

申请日：2019-08-13

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 伊莱·钱 ,  阿德里安·拉沃伊 ,  普鲁肖塔姆·库马尔 ,  杰弗里·克斯滕 ,  高塔姆·达尔

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C14/22 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于处理室的气体输送系统包括用于输送第一化学品的第一通道和用于输送第二化学品的第二通道。第一通道包括第一出口阀，而第二通道包括第二出口阀。涓流气体源连接到第一和第二通道。第一接头耦合到第一出口阀，而第二接头连接到第二出口阀。公共导管连接在第一接头和第二接头之间。第一接头包括用于从推压气体源提供推压气体的输入端，而第二接头包括通向处理室的输出端。在操作期间，每次第一通道或第二通道中的一个处于运行状态。来自涓流气体源的涓流气体流入第一或第二通道中的运行通道和非运行通道。来自推入气体源的推压惰性气体流入第一接头，流过公共导管并从第二接头流出到达处理室。