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公开(公告)号：CN118302849A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202280077579.4
申请日：2022-11-21
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: H01L21/687 , H01J37/32
Abstract: 本文公开了一种具有流导特征的改良式边缘环。边缘环的流导特征为添加至边缘环的特征，其可调整在边缘环局部区域中流动的气体的流导。流导特征可以调整流导以补偿半导体晶片上、边缘环上以及室中可能影响局部区域中的气体流动的特征。取决于所需效果，流导可以增加、降低或进行调整。
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