一种基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法

    公开(公告)号:CN119519640A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202510080364.3

    申请日:2025-01-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于新型牺牲层工艺的BAW器件的制备方法,该制备方法将ZnO作为牺牲层的材料,采用稀盐酸溶液作为腐蚀溶液,在将ZnO完全腐蚀的同时,还能够避免稀盐酸溶液将绝缘层和介质层腐蚀掉,获得高性能的BAW器件,同时实现与其他无源器件的片上集成。本发明采用ZnO作为牺牲层,由于其具有与压电层相同的纤锌矿型结构,因此可以用来诱导压电震荡堆的第一电极的晶粒排列,有利于第一电极薄膜择优取向生长,从而进一步使压电层薄膜择优取向生长,使其具有较好的压电性能。本发明采用SiO2作为钝化保护层和绝缘层,在起到其本身功能的同时还可以额外实现温度补偿的作用。

    一种采用一体加工式轮式阀的压电微泵及其工作方法

    公开(公告)号:CN118564433B

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202411035359.2

    申请日:2024-07-31

    Abstract: 本发明公开了一种采用一体加工式轮式阀的压电微泵及其工作方法;该压电微泵包括驱动部件和进气泄气部分;驱动部件依次层叠的有封闭层、阻挠层、振动基板层、供电层;进气泄气部分包括顶盖,以及设置在顶盖内并依次层叠的阀座层和隔膜层。阻挠层靠近振动基板层的侧面蚀刻形成有环形凹槽;环形凹槽的中部未被蚀刻的位置形成圆形凸台;圆形凸台上开设有中心通孔。振动基板层的中心振动部的底面为未经过蚀刻的平整面。阀座层上设置有进气区和封堵区。阀座层的进气区上设有第一流通孔和圆形台柱。顶盖内凹腔体上表面刻蚀形成有凹槽结构。所述的凹槽结构包括相互连通的输出区和环形回流区。

    测量微量细胞悬浮液电特性的传感器及其制作与使用方法

    公开(公告)号:CN118583741A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410513940.4

    申请日:2024-04-26

    Inventor: 孙文 孙玲玲 陈津

    Abstract: 本发明公开了测量微量细胞悬浮液电特性的传感器及其制作与使用方法。该传感器从下至上依次包括介质基板、共面波导传感器、微流道板和盖板。所述介质基板在毫米波频段具有低损耗的性能,共面波导传感器通过微纳工艺制作在介质基板上。微流道板以SU‑8光刻胶为原料,通过微纳工艺与共面波导传感器一体化集成。PDMS材料的盖板键合在微流道板上方,对微流通道进行密封。所述传感器的工作频带覆盖0.1G~110GHz,通过微流控中设计细胞捕获结构,保证测量过程中细胞在传感器的高灵敏区域,和每次测量细胞浓度的一致。具有宽频带、尺寸小、便于加工、易于集成等优点,在细胞毫米波检测和识别中具有重大的潜力。

    一种基于微波传感器测量微量液体介电常数的方法及装置

    公开(公告)号:CN118501554A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410570179.8

    申请日:2024-05-09

    Abstract: 本发明公开了一种基于微波传感器测量微量液体介电常数的方法及装置。所述测量装置包括介质基板、金属传感器和开口容器。所述金属传感器为共面波导结构,所述开口容器的底面为矩形,位于金属传感器的中心位置,长边垂直于金属传感器的信号传输方向,且长度大于金属传感器的宽度。所述测量方法通过对去嵌入器件进行散射参数测量,拟合获得除样品段外的传输线参数。将所属装置进行散射参数测量后,计算样品端面的散射参数。然后测量和计算不同参考样品下的样品段传输线的等效介电常数,得到样品段传输线的等效介电常数与样品介电常数间的系数矩阵。最后对于未知样品,测量其散射参数,并使用测量装置的传输线参数与系数矩阵,计算其介电常数。

    一种高效的图片超分辨率重建方法

    公开(公告)号:CN111754400B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202010484726.2

    申请日:2020-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种高效的图片超分辨率重建方法,本发明基于卷积神经网络提出一种新的图片超分辨率网络结构,该网络结构命名为SESRNet,其中采用多尺度卷积融合模块可以高效的获取不同尺度的图像特征并且计算量大大降低。SESRNet主要由5个Mixblock组成,其所需要的计算量只有2.8GFLOPS,比主流的FSRCNN的6GFLOPS减少了一半的计算量。本发明中的图片超分辨率网络在保持图片还原的效果下,大大降低了计算量,使得边缘智能物联网终端设备上可以更加顺畅的将图片还原至合适的效果,提升AIoT设备的交互效果。

    一种压电泵振动基板结构及压电微泵

    公开(公告)号:CN117028214A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202311109558.9

    申请日:2023-08-31

    Abstract: 本发明公开了一种压电泵振动基板结构及压电微泵;该振动基板结构包括一体成型,并由边缘向中心依次排布的边缘固定部、第一弹性件、过渡连接圈、第二弹性件和中心振动部。过渡连接圈呈圆环状;过渡连接圈的外圆周边缘与边缘固定部的内圆周边缘间隔设置,并通过多个第一弹性件连接。过渡连接圈的内圆周边缘与中心振动部的外边缘间隔设置,并通过多个第二弹性件连接。本发明提供压电泵振动基板结构中设置有以过渡连接圈相连的内外两层圆弧弹性件,并将内外两层圆弧弹性件错开一定角度,使得过渡连接圈也参与到弹性变形中;从而显著提高了中心振动部的振动幅度,进而在几乎不影响压电微泵尺寸的情况下提高了压电微泵的输出流量。

    用于实现非对称算法RSA模幂计算的硬件电路及方法

    公开(公告)号:CN115756391A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211493261.2

    申请日:2022-11-25

    Abstract: 本发明公开了用于实现非对称算法RSA模幂计算的硬件电路及方法。所述硬件电路包括模幂控制器、模乘控制器、模乘参数n’[0]计算模块和密钥编码模块。其中模幂控制器用于协调电路中的其中模块进行工作,并实现数据传输。密钥编码模块通过定长划窗法对密钥进行编码,将模幂运算转化为连续的模乘和模平方运算。模乘控制器通过6路并行的Fast‑FIOS模乘器实现流水线结构,压缩算法级数和时序。并且针对模平方算法进一步优化,大幅减少模幂计算所需时钟周期。6路并行的Fast‑FIOS模乘器通过FIFO进行数据传输,实现内部数据零读写路由。仿真结果证明本发明的模乘可以达到400MHz的最大运行速率。

    基于折叠变换的R2-MDC架构的NTT硬件实现方法

    公开(公告)号:CN115756387A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211143762.8

    申请日:2022-09-20

    Abstract: 本发明公开了基于折叠变换的R2‑MDC架构的NTT硬件实现方法,通过改进现有的R2‑MDC架构,简化了数据读写控制逻辑,减少了50%的资源消耗,高效实现环上多项式乘法运算。具体是通过折叠变换的方法,每个BFU单元中均包含模加、模减、模乘单元等模块,利用一级BFU单元实现两层蝶形运算,将电路的输入按照奇、偶时钟区分,交替进行,每级BFU单元在奇周期输入奇数层蝶形运算数据,偶周期输入偶数层蝶形运算数据。并且通过模式寄存器与多路复用器配合,动态实现NTT、INTT和CWM三种运算,通用性显著提高。并且采用巴雷特模约简算法优化模乘电路,提高了运算速度。

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