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公开(公告)号：CN115711691B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202211399694.1
申请日：2022-11-09
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种抗惯性干扰的多力信号MEMS传感器及其制作方法。本发明采用电容式测量原理，即通过改变电容极板对之间的间距来改变电容值，从而反映力信号的大小，包括中央凸台，可动主板，Z轴极板，内部梳齿，外部梳齿，外部梳齿上电极，U型梁，外围固定梁，外围固定梁上电极。本发明将原本应为固定梳齿的结构改为了位于外部的可动的梳齿，这样使得惯性作用到来时，内部梳齿和外部梳齿共同发生位移，大大减小了导致干扰信号产生的相对位移，从而实现了抗惯性干扰的功能。另外外部梳齿的厚度大于内部梳齿的厚度，Z轴极板的面积大于玻璃板上电极的面积，这使得传感器在能够实现六轴力、力矩信号检测的同时，可以实现各个信号之间的解耦。
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公开(公告)号：CN116358764A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310117132.1
申请日：2023-02-15
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器，包括玻璃衬底及其上表面的固定电极、悬于玻璃衬底上方的器件层。玻璃衬底上表面的固定电极包括固定叉指铝电极、固定金属电极、电极连接线和自检测引出电极。悬于玻璃衬底上方的器件层包括器件锚点、四根L型压电驱动梁、静电吸合模块、敏感驱动台和电容式三轴力传感器。固定金属电极与电容式三轴力传感器中心质量块对应放置，静电吸合模块位于压电驱动梁和敏感驱动台之间。本发明抑制交叉轴串扰的问题，实现交叉轴以及法向三轴驱动，实现交叉轴驱动电容的实时检测，并通过调整静电吸合模块实现力检测模式和校准模式的切换。
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公开(公告)号：CN108770183B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201810527029.3
申请日：2018-05-29
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H05K1/02
Abstract: 本发明公开了一种基于FR4印制电路板的三轴减振结构。本发明包括处于同一平面的矩形板、第一回形板和第二回形板，其中矩形板用于放置MEMS惯性测量系统中的惯性传感器及系统电路，矩形板位于第一回形板内，通过四个减振连接器与第一回形板连接，所述的第一回形板用于放置系统电路；第一回形板在第二回形板内，也通过四个减振连接器与第二回形板连接，所述的第二回形板通过固定螺孔与外部设备直接相连。本发明在没有增加测量系统电路板的体积与质量的同时，降低了MEMS惯性传感器的三轴振动输出误差。
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公开(公告)号：CN101792108B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201010125444.X
申请日：2010-03-16
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B81B7/02 , B81C1/00 , B81C3/00 , G01P15/125
Abstract: 本发明涉及一种基于滑膜阻尼的大电容微惯性传感器及其制作方法。现有的传感器的噪声大、稳定性差，量程和带宽小。本发明的传感器中敏感器质量块的两侧边对称设置有硅条组，敏感器质量块两端设置有敏感器锚点，敏感器质量块内有栅形电极；驱动器质量块对应硅条组设置；敏感器质量块下方的第一基板上设置固定对电极。制作该传感器的方法首先是在第一基板上形成固定对电极；其次在第二基板上表面形成电绝缘层，下表面形成悬浮区；然后键合两个基板；最后刻蚀形成该传感器。本发明中的微惯性传感器结构新颖，分辨率和灵敏度高，制作工艺简单，有利于降低成本和提高成品率。
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公开(公告)号：CN117842928A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410048449.9
申请日：2024-01-12
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本申请公开了一种增强触觉传感器性能的纯刚性封装设计方法，包括以下步骤：采用MEMS工艺，制造出玻璃基板、阵列的MEMS压阻式触觉传感器以及上层封装结构；在该封装设计中，压阻式触觉传感器封装结构被设计为三明治式结构，将压阻式触觉传感器放置在上层封装结构和玻璃基板中间；将压阻式触觉传感器上表面倒装于带通孔的玻璃基板上表面，完成对压阻式触觉传感器上表面封装；将压阻式触觉传感器下表面与设计出的上层封装结构对准键合，完成对压阻式触觉传感器下表面封装；经过上述封装设计步骤，提高了阵列的MEMS压阻式触觉传感器的灵敏度和线性度，并且实现了对阵列的MEMS压阻式触觉传感器防护。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113397513A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110822380.7
申请日：2021-07-21
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于微电磁驱动的便携式血压传感器固定装置，包括悬臂梁式驱动片、永磁铁、垫片、平面线圈层、支撑层，悬臂梁式驱动片包括内层和外层，内层为方形体，外层为方形框体，内层外尺寸小于外层内尺寸，内层和外层通过四个双L型连接条连，双L型连接条一端和外层内壁连接，另一端和内层外壁连接；永磁铁固定在悬臂梁式驱动片内层的正面，悬臂梁式驱动片外层正面通过垫片和平面线圈层连接，永磁铁和平面线圈层之间有空间以形成气隙，支撑层设于平面线圈层正面；血压传感器固定在驱动片内层的背面，固定装置两侧分别和腕带两端部连接。本发明实现了血压传感器在安静和运动情况下都能够稳定测量血压的目的。
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公开(公告)号：CN113210348A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110447883.0
申请日：2021-04-25
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种基于红外阵列测温的超声波在线除垢防垢智能系统。本发明以超声波电源驱动的超声波换能器为功率器件，向管道发生超声波，在管道和其中的液体介质中产生空化效应、高速微涡效应和剪切效应，较传统的高压水枪冲洗、人工清洁和化学试剂清理实现工作效率提高、清洁成本降低和环境污染减小；本发明以红外阵列测温传感器作为清洁效果反馈的输入端，较一般的超声波除垢设备，起到了实时监测除垢效果和不用停产和拆卸管道以检查清洁效果的功效；本发明结合红外阵列测温传感器提供的管道温度信息，实时调节换能器工作功率，较一般的超声波设备取得了节省能耗和延长清洁设备寿命等功效。
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公开(公告)号：CN108770183A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810527029.3
申请日：2018-05-29
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H05K1/02
Abstract: 本发明公开了一种基于FR4印制电路板的三轴减振结构。本发明包括处于同一平面的矩形板、第一回形板和第二回形板，其中矩形板用于放置MEMS惯性测量系统中的惯性传感器及系统电路，矩形板位于第一回形板内，通过四个减振连接器与第一回形板连接，所述的第一回形板用于放置系统电路；第一回形板在第二回形板内，也通过四个减振连接器与第二回形板连接，所述的第二回形板通过固定螺孔与外部设备直接相连。本发明在没有增加测量系统电路板的体积与质量的同时，降低了MEMS惯性传感器的三轴振动输出误差。
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公开(公告)号：CN101531334A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200910097495.3
申请日：2009-04-07
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B81B7/02 , B81C5/00 , G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种磁驱动增大检测电容的微惯性传感器及其制作方法。现有产品限制了传感器振子的质量增加和极板间距的减小。本发明中敏感器质量块为刻蚀有栅形条的矩形硅片，两端通过硅支撑梁与锚点连接，两侧边分别设置硅条，驱动器质量块中间刻有环行槽，其与敏感器质量块对应的一侧设置有检测硅条，在驱动器质量块靠近U形梁的外侧锚点位置上设置有驱动器焊点，驱动器焊点与驱动器锚点连接，驱动器相对的两个锚点上设置有外部电流驱动焊点，并在该对应外部驱动电流焊点间设置有金属驱动导线。玻璃衬底表面设置有叉指铝电极，敏感器质量块的每条栅形条与叉指铝电极中的每对叉指相对应。本发明工艺简单，有利于降低成本和提高成品率。
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公开(公告)号：CN116296026A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310117112.4
申请日：2023-02-15
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种抗惯性环境干扰的多维力MEMS传感器。它包括基板、六轴力传感器和加速度计，所述的六轴力传感器为电容式测量原理，当受到外部力信号时，传感器的梳齿电容极板对之间的间距发生变化，从而改变电容值，最终反映力信号的大小。所述的加速度计亦为电容式测量原理，本发明利用所述加速度计的测量结果去校正六轴力传感器受到惯性作用时产生的干扰信号，经过校正后最终的结果即为消除了动态环境中惯性干扰的测量结果，从而实现精确测量。
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