机械特性的计测装置、机械特性的计测方法、物质的制造设备、物质的管理方法和物质的制造方法

    公开(公告)号:CN115698699A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202180042018.6

    申请日:2021-06-14

    Abstract: 提供能够经由物理量正确地计测机械特性的机械特性的计测装置和机械特性的计测方法。提供通过能够经由物理量正确地计测机械特性而能够提高物质的制造成品率的物质的制造设备和物质的制造方法。另外,通过能够经由物理量正确地计测机械特性而提供高品质的物质。机械特性的计测装置(100)具备:物理量计测部(5),其对具有物质和处于物质的表面的膜的计测对象物的多个物理量进行计测;机械特性计算部(82),其使用计算物质的机械特性的多个计算模型和计测出的多个物理量中至少两个物理量,按多个计算模型中每一个计算模型计算物质的机械特性;以及选择处理部(81),其从基于多个物理量中至少两个物理量计算出的多个物质的机械特性中选择一个机械特性,作为物质的机械特性。

    机械特性的计测装置、机械特性的计测方法、物质的制造设备、物质的管理方法和物质的制造方法

    公开(公告)号:CN115698700A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202180042549.5

    申请日:2021-06-14

    Abstract: 提供能够经由物理量而正确地计测机械特性的机械特性的计测装置和机械特性的计测方法等。机械特性的计测装置(100)具备:物理量计测部(5),其对具有物质和处于物质的表面的膜的计测对象物的多个物理量进行计测;计算模型生成部(81),其基于作为计测出的多个物理量中至少两个物理量的选择用物理量,从学习数据组选择多个学习数据,并生成计算模型,上述计算模型用于根据选择出的多个学习数据来计算物质的机械特性;以及机械特性计算部(82),其使用所生成的计算模型和多个物理量中至少两个物理量来计算物质的机械特性,选择用物理量包括:使用第1计测信号计测出的至少一个物理量和使用第2计测信号计测出的至少一个物理量。

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