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公开(公告)号:CN101364607B
公开(公告)日:2011-05-25
申请号:CN200810145411.4
申请日:2008-08-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L27/148 , H01L21/822
CPC classification number: H01L27/1462 , H01L27/14627 , H01L27/14685
Abstract: 本发明的目的是提供一种抑制由抗反射膜本身的光吸收而造成的特性劣化的固体摄像装置。在本发明的固体摄像装置中,与每一个排列在半导体基板(1)上的受光部(2)相对应地设置有光谱特性互不相同的滤色片(8a~8c)。并且,将多个微透镜(10)设置在滤色片(8a~8c)的上方。将多个抗反射膜(11a)选择性地形成在设置在具有规定光谱特性的滤色片(8b)上的微透镜(10)表面。
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公开(公告)号:CN101364607A
公开(公告)日:2009-02-11
申请号:CN200810145411.4
申请日:2008-08-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L27/148 , H01L21/822
CPC classification number: H01L27/1462 , H01L27/14627 , H01L27/14685
Abstract: 本发明的目的是提供一种抑制由抗反射膜本身的光吸收而造成的特性劣化的固体摄像装置。在本发明的固体摄像装置中,与每一个排列在半导体基板(1)上的受光部(2)相对应地设置有光谱特性互不相同的滤色片(8a~8c)。并且,将多个微透镜(10)设置在滤色片(8a~8c)的上方。将多个抗反射膜(11a)选择性地形成在设置在具有规定光谱特性的滤色片(8b)上的微透镜(10)表面。
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