薄膜形成装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1127696A

    公开(公告)日:1996-07-31

    申请号:CN95115918.6

    申请日:1995-09-11

    Abstract: 一种薄膜形成装置,包括:具有多个喷涂液体用喷孔的涂液喷头;使沉积了上述涂液的上述涂敷基片绕转轴旋转的旋转装置;使上述涂液喷头和涂敷基片在该基片邻近转轴的附近区域和离开转轴的离开区域之间作互为相对移动的相对移动装置;相对移动控制装置,使随着上述涂液喷头和基片的相对位置从所邻近转轴区域相对移向离开转轴区域时,相应减少相对移动速度和旋转装置的旋转角速度。根据本发明,可用简单的控制制得均匀的薄膜。

    薄膜形成装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1066386C

    公开(公告)日:2001-05-30

    申请号:CN95115918.6

    申请日:1995-09-11

    Abstract: 一种薄膜形成装置,包括:具有多个喷涂液体用喷孔的涂液喷头;使沉积了上述涂液的上述涂敷基片绕转轴旋转的旋转装置;使上述涂液喷头和涂敷基片在该基片邻近转轴的附近区域和离开转轴的离开区域之间作互为相对移动的相地移动装置;相对移动控制装置,使随着上述涂液喷头和基片的相对位置从所邻近转轴区域相对移向离开转轴区域时,相应减少相对移动速度和旋转装置的旋转角速度。根据本发明,可用简单的控制制得均匀的薄膜。

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