公开(公告)号：CN102405433B

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201080017370.6

申请日：2010-04-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中圆晋辅 ,  平冈聪一郎 ,  寺田二郎 ,  古川成男 ,  堀江寿彰 ,  小牧一树 ,  多田真树 ,  山本雄大

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H02N2/00 ,  H04N1/036

CPC classification number: G02B26/0858

Abstract: 光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。

公开(公告)号：CN102405433A

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN201080017370.6

申请日：2010-04-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中圆晋辅 ,  平冈聪一郎 ,  寺田二郎 ,  古川成男 ,  堀江寿彰 ,  小牧一树 ,  多田真树 ,  山本雄大

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H02N2/00 ,  H04N1/036

CPC classification number: G02B26/0858

Abstract: 光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。