公开(公告)号：CN1296643A

公开(公告)日：2001-05-23

申请号：CN00800291.6

申请日：2000-03-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 竹桥信逸 ,  生田茂雄 ,  河北哲郎 ,  井上真弓 ,  仓增敬三郎

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/66757 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/66765 ,  H01L29/78621 ,  H01L29/78624 ,  H01L29/78627

Abstract: 特别是提供液晶显示装置用的性能优良的LDD型TFT。为此,利用化学反应、电镀等使顶部栅极型的LDD－TFT的栅极电极变成为2个台阶构造,此外,使上部或下部变成为对于别的部分,在源极电极一侧、漏极电极一侧稍微突出出来的形状。然后,在该构造、形状的基础上,以电极为掩模注入杂质。在杂质注入之前,或者除去栅极绝缘膜,或者为防止稀释用氢的侵入形成Ti膜。在底部栅极一侧LDD－TFT中,制造方法也大体上相同。