-
公开(公告)号：CN101726277B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200910179061.8
申请日：2009-10-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种三维形状测定方法。其高精度地测定透镜等测定物的高倾斜部分。将透镜(11)设为向测定机(1)的绕Y轴倾斜设置的第一设置状态(S3-1)。将透镜(11)从第一设置状态以设计坐标系的Z轴为中心旋转90度成为第二设置状态(S3-8)。分别对于第一及第二设置状态，在通过透镜(11)的设计上的顶点坐标的X轴方向的直线上测定表面的XYZ轴的坐标而取得第一测定数据群，并且在通过透镜(11)的设计上的顶点坐标的Y轴方向的直线上测定表面的XYZ轴的坐标而取得第二测定数据群(S3-4、S3-11)。分别对于第一及第二设置状态，使用第一及第二测定数据群算出与设计形状的差。对算出的与设计形状的差进行合成(S3-15)。
-
公开(公告)号：CN1150253A
公开(公告)日：1997-05-21
申请号：CN95118196.3
申请日：1995-11-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01Q60/38 , G01H9/00 , G01Q10/04 , G01Q30/025 , G02B21/0004 , Y10S977/87
Abstract: 本发明揭示一种原子力显微镜，它包括：备有共焦透镜及探针的Z向扫描部；使该扫描部沿垂直试样表面的方向移动的Z向扫描器；包含上述两部分及镜子的X向扫描部；使X向扫描部沿与试样表面平行的平面内的第1轴向移动的X向扫描器；备有X向扫描部、X向扫描器、检测光放射系统及变位检测系统的Y向扫描部；使Y向扫描部沿与试样表面平行的平面内、垂直于第1轴向的第2轴向移动的Y向扫描器。具有能测定大型试样的优点。
-
公开(公告)号：CN1068677C
公开(公告)日：2001-07-18
申请号：CN95118196.3
申请日：1995-11-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N13/16
CPC classification number: G01Q60/38 , G01H9/00 , G01Q10/04 , G01Q30/025 , G02B21/0004 , Y10S977/87
Abstract: 本发明揭示一种原子力显微镜，它包括：备有共焦透镜及探针的Z向扫描部；使该扫描部沿垂直试样表面的方向移动的Z向扫描器；包含上述两部分及二向色镜的X向扫描部；使X向扫描部沿与试样表面平行的平面内的X方向移动的X向扫描器；备有X向扫描部、X向扫描器、检测光放射系统及变位检测系统的Y向扫描部；使Y向扫描部沿与试样表面平行的平面内、垂直于X方向的Y方向移动的Y向扫描器。具有能测定大型试样的优点。
-
公开(公告)号：CN101726277A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910179061.8
申请日：2009-10-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种三维形状测定方法。其高精度地测定透镜等测定物的高倾斜部分。将透镜(11)设为向测定机(1)的绕Y轴倾斜设置的第一设置状态(S3-1)。将透镜(11)从第一设置状态以设计坐标系的Z轴为中心旋转90度成为第二设置状态(S3-8)。分别对于第一及第二设置状态，在通过透镜(11)的设计上的顶点坐标的X轴方向的直线上测定表面的XYZ轴的坐标而取得第一测定数据群，并且在通过透镜(11)的设计上的顶点坐标的Y轴方向的直线上测定表面的XYZ轴的坐标而取得第二测定数据群(S3-4、S3-11)。分别对于第一及第二设置状态，使用第一及第二测定数据群算出与设计形状的差。对算出的与设计形状的差进行合成(S3-15)。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.029 seconds)
