公开(公告)号：CN103447193A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310205694.8

申请日：2013-05-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 村岸勇夫 ,  土田修三 ,  参川茂 ,  堀川晃宏 ,  广田修

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/02 ,  B05C13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种涂布装置，以容易地将涂布液高精度且均匀地涂布于具有翘曲或起伏的基板上。设置在通过棒（109）将被供给至基板（103）上的涂布液（104）拉伸时按压基板（103）的机构（116），控制拉伸区域的基板（103）的形状，由此能够容易地在具有翘曲或凹凸的大型基板（103）上高精度且均匀地涂布涂布液（104）。

公开(公告)号：CN103301991A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310003715.8

申请日：2013-01-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 村岸勇夫 ,  土田修三 ,  参川茂 ,  堀川晃宏 ,  山本章博

IPC: B05C5/00 ,  B05C13/02 ,  B05C11/02

Abstract: 本发明的涂布装置通过使用多个卡盘（110）对杆（109）进行保持，并与各卡盘（110）对应地设置加压元件，就能局部地使用加压元件一边对各卡盘（110）的加压载荷进行调节一边进行加压，因此，能容易地将涂液高精度且均匀地涂布在有翘曲及凹凸的基板上。

公开(公告)号：CN103447193B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201310205694.8

申请日：2013-05-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 村岸勇夫 ,  土田修三 ,  参川茂 ,  堀川晃宏 ,  广田修

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/02 ,  B05C13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种涂布装置，以容易地将涂布液高精度且均匀地涂布于具有翘曲或起伏的基板上。设置在通过棒（109）将被供给至基板（103）上的涂布液（104）拉伸时按压基板（103）的机构（116），控制拉伸区域的基板（103）的形状，由此能够容易地在具有翘曲或凹凸的大型基板（103）上高精度且均匀地涂布涂布液（104）。