固体摄像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101685822A

    公开(公告)日:2010-03-31

    申请号:CN200910177760.9

    申请日:2009-09-25

    Inventor: 三室研 地崎润

    CPC classification number: H01L27/14623 H01L27/14645

    Abstract: 本发明提供一种固体摄像装置及其制造方法。该固体摄像装置能够抑制在像素单元排列上产生斑点状图案,同时,能够不增加制造成本而进行制造,由此抑制上述斑点图像不良的发生,获得优质的图像。本发明的特征在于,在按照包围固体摄像元件的受光区域的方式开口的格子状的遮光膜图案或者配线图案中,在图案的一部分中具有一定的间隙。此外,有时周边电路和像素上的配线层用作遮光膜。在该情况下,如果将多个配线层用作遮光膜,那么,根据第一配线层的布局,决定第二层以后的配线层的布局,在受光区域上,在包围受光区域的配线的一部分上具有一定的间隙。

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