公开(公告)号：CN106328560A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610308988.7

申请日：2016-05-11

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 鹰巢良史 ,  横山信之 ,  田代功 ,  上木原伸幸

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/304 ,  B24B37/04

CPC classification number: H01L21/30625 ,  B24B21/06 ,  B24B21/12 ,  B24B37/04 ,  B24B37/11 ,  H01L21/02024 ,  H01L21/2686 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/67092 ,  B24B37/042 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种能够向工件的被加工面均匀地照射紫外线而生成均匀的氧化物并将工件加工为平滑的平面的加工装置。加工装置具备：使工件绕旋转轴旋转的旋转工作台；以与旋转工作台的旋转轴正交的轴进行旋转的辊形状构件；在旋转工作台的旋转轴的方向上进行驱动以使得辊形状构件与工件相互接触的垂直驱动部；向辊形状构件与工件之间照射紫外线的紫外线照射源；被供给至辊形状构件与工件之间的研磨材料；以及被供给至辊形状构件与工件之间且使来自紫外线照射源的紫外线散射的光散射体。

公开(公告)号：CN106328560B

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN201610308988.7

申请日：2016-05-11

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 鹰巢良史 ,  横山信之 ,  田代功 ,  上木原伸幸

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/304 ,  B24B37/04

Abstract: 本发明提供一种能够向工件的被加工面均匀地照射紫外线而生成均匀的氧化物并将工件加工为平滑的平面的加工装置。加工装置具备：使工件绕旋转轴旋转的旋转工作台；以与旋转工作台的旋转轴正交的轴进行旋转的辊形状构件；在旋转工作台的旋转轴的方向上进行驱动以使得辊形状构件与工件相互接触的垂直驱动部；向辊形状构件与工件之间照射紫外线的紫外线照射源；被供给至辊形状构件与工件之间的研磨材料；以及被供给至辊形状构件与工件之间且使来自紫外线照射源的紫外线散射的光散射体。